尹鹏和
- 作品数：9 被引量：8H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信化学工程更多>>
- 基于纳米裂纹的超高灵敏度柔性温度传感器被引量：4
- 2018年
- 利用光刻和弯曲的方法,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制作出一种带有纳米裂纹的柔性温度传感器。该传感器的平均电阻温度系数TCR高达1.4/K,比传统的温度传感器提高3个数量级。此外,还对单方向弯曲和双方向弯曲制作的温度传感器的性能进行对比分析。实验结果表明双方向弯曲制作的温度传感器具有更高的灵敏度,但测量范围较窄。
- 初永志郭洪吉尹鹏和刘军山
- 关键词：聚二甲基硅氧烷温度传感器
- MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较被引量：2
- 2015年
- 精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm^100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。
- 陈莉尹鹏和
- 关键词：薄膜厚度
- 一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法
- 本发明公开了一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法。该装置包括定位片、样品台、自动二维移动平台、光强探测器、微型真空泵、显微镜成像系统、照明光源和计算机。利用定位片上的定位孔可清晰界定光斑轮廓，定位孔正下方的光强探测器嵌...
- 陈莉徐征刘军山刘冲尹鹏和
- 一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法
- 本发明公开一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法，属于微机电系统微加工技术领域。制备得到的MEMS继电器的基底和可动结构的材料均为柔性聚合物聚酰亚胺，而且聚酰亚胺基底可以从硅片上剥离下来，从而真正实现了继...
- 刘军山舒振赵欣悦单晗尹鹏和张悦杜立群徐征
- 文献传递
- 休斯光刻机汞灯电源的原理与维修技术被引量：2
- 2016年
- 汞灯具有电弧密度大、亮度高、近紫外谱线集中等许多优点,在微电子光刻领域中有广泛应用。由于汞灯为高强度气体放电灯,发光受环境温度、电压强度等因素影响较大,为光刻设备中易出现故障的器件之一。在大连理工大学微系统实验室近9年的使用过程中,对德国休斯公司生产的MA6型光刻机的汞灯工作原理进行了充分的研究和分析。通过维修,解决了汞灯电源电流停机保护故障和温度停机保护故障两个问题,保障了设备的正常运行。同时,揭示了汞灯光源的功率电路、控制电路原理,介绍了恒功率输出、恒光强输出的电路工作原理。
- 单庆刘冲姜睿尹鹏和徐征崔岩
- 关键词：光刻机
- 一种多层负性光刻胶模具制作方法
- 本发明一种多层负性光刻胶模具制作方法属于微加工工艺技术研究领域，涉及一种多层SU-8模具的制作方法，应用在微机电系统、组织工程、生物力学等领域。制作方法采用一种正性光刻胶作为牺牲层，在下层SU-8胶上构建一个临时基底，在...
- 刘军山张栋葛丹尹鹏和徐征杜立群刘冲王立鼎
- 文献传递
- 开放式光谱椭偏实验教学中的科研训练
- 2017年
- 椭偏法在材料的光学性质和薄膜厚度检测中发挥着重要的作用,椭偏测量也已纳入很多高校的实验教学内容。针对实验教学中原理展示性不足、与科研实际结合不紧密的问题,对课程形式和内容进行了改变。制作了光谱椭偏仪器件装配和动态测量视频,增加椭偏测量教学中的原理展示性,加强理论贯通性,联系科研实际,增加实验内容,通过对不同类型样品的测量分析讨论,培养学生解决实际问题的能力和创造性思维。
- 陈莉尹鹏和刘军山徐征崔岩
- 关键词：折射率膜厚
- 一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法
- 本发明公开一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法，属于微机电系统微加工技术领域。制备得到的MEMS继电器的基底和可动结构的材料均为柔性聚合物聚酰亚胺，而且聚酰亚胺基底可以从硅片上剥离下来，从而真正实现了继...
- 刘军山舒振赵欣悦单晗尹鹏和张悦杜立群徐征
- 一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法
- 本发明公开了一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法。该装置包括定位片、样品台、自动二维移动平台、光强探测器、微型真空泵、显微镜成像系统、照明光源和计算机。利用定位片上的定位孔可清晰界定光斑轮廓，定位孔正下方的光强探测器嵌...
- 陈莉徐征刘军山刘冲尹鹏和
- 文献传递
