梁毅
- 作品数：5 被引量：5H指数：2
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- 相关领域：理学更多>>
- ZnO基二维光子晶体的带隙研究被引量：3
- 2011年
- 用平面波展开法研究以ZnO为背景介质,由周期性排列的空气圆孔柱、椭圆孔柱和正方孔柱分别构成的三角晶格结构的光子晶体,计算在不同参数条件下光子晶体的能带曲线。研究结果表明,通过调控孔柱和晶格常数的大小,可以改变光子晶体带隙位置和宽度;对于所有ZnO基三角晶格结构空气孔二维光子晶体,TE模比TM模带隙更宽;正方空气孔柱光子晶体的带隙比圆柱和椭圆柱光子晶体的带隙要宽。
- 梁毅董国艳秦希峰
- 关键词：平面波展开法空气柱晶格常数带隙
- 光子晶体带隙结构及色散性质的研究
- 在信息社会日益发展的今天，随着人们对各种业务需求的增加，光通信在信息社会中发挥着越来越重要的作用。光子晶体，又称为光子禁带材料，是将不同介电系数的材料在空间按照一定的周期（尺寸在光波长量级）排列所形成的一种人造“晶体”结...
- 梁毅
- 关键词：光子晶体平面波展开法空气柱色散性质
- 文献传递
- 铒离子注入6H-SiC的横向离散研究
- 2010年
- 利用离子注入掺杂技术设计、制作半导体集成器件时,了解离子注入半导体材料的射程分布、射程离散和横向离散规律等是很重要的.用400keV能量的铒(Er)离子分别与样品表面法线方向成0°,45°和60°倾角注入碳化硅(6H-SiC)晶体中,利用卢瑟福背散射技术研究了剂量为5×1015cm-2的400keVEr离子注入6H-SiC晶体的横向离散.测出的实验值与TRIM'98和SRIM2006得到的理论模拟值进行了比较,发现实验值跟TRIM'98和SRIM2006计算的理论值都符合较好,TRIM'98计算的理论值与试验值符合得更好一些.
- 秦希峰王凤翔梁毅付刚赵优美
- 关键词：离子注入6H-SIC
- 铒离子注入碳化硅的射程和退火行为研究被引量：2
- 2011年
- 用300—500keV能量的铒(Er)离子注入碳化硅(6H-SiC)晶体中,利用卢瑟福背散射技术研究了剂量为5×1015cm-2的Er离子注入6H-SiC晶体的平均投影射程Rp和射程离散ΔRp,将测出的实验值和TRIM软件得到的理论模拟值进行了比较,发现Rp的实验值与理论值符合较好,ΔRp的实验值和理论值差别大一些.结果表明,注入剂量一定时,注入能量越高,晶格损伤程度越高.1400℃的高温退火,可以实现6H-SiC的完美再晶化,但伴随着产生了Er原子向表面的外逸出.
- 秦希峰梁毅王凤翔李双付刚季艳菊
- 关键词：离子注入退火行为
- 铒离子注入碳化硅后的射程分布和射程离散
- 2010年
- 鉴于利用离子注入技术掺杂制作光电集成器件时,离子注入半导体材料的射程分布、射程离散和横向离散对器件性能的影响,应用卢瑟福背散射技术研究将剂量为5×1015cm-2的400 keV能量的Er+离子注入6H-SiC晶体的平均投影射程、射程离散和深度分布。用SRIM2006模拟软件对能量为400 keV的Er+离子注入SiC晶体的深度分布进行了理论模拟,把理论模拟值跟测出的实验值进行比较,发现两者符合较好,从而为今后利用Er+离子注入SiC晶体掺杂制作光电集成器件提供参考依据。
- 秦希峰季燕菊王凤翔付刚赵优美梁毅
- 关键词：离子注入6H-SIC
