唐路路
- 作品数：4 被引量：93H指数：1
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置
- 本发明是一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，包括计算机、对准光源、数字微镜、光刻物镜、硅片、成像器件(CCD)、位移工件台、第一和第二分色分光镜，第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜结构上；计算机控制数字...
- 朱江平胡松唐燕陈铭勇唐路路何渝
- 文献传递
- 一种自适应阈值的Canny边缘检测算法被引量：92
- 2011年
- 针对传统Canny算法阈值选择困难的问题,本文提出一种基于最大类间方差法的自适应同步搜索高低阈值的方法。该方法首先根据梯度直方图信息将对应的像素分为三类;其次基于改进的Otsu算法定义评价函数,该评价函数描述了类间方差;最后依次搜索评价函数的一个最大值,自动获取Canny算子的高低阈值。该方法不需要人为设定任何参数。与传统Canny算法、直接Otsu算法的结果比较表明,本文方法对不同的图像都能较好地提取真实边缘,特别是在低对比度图像的边缘提取上,此方法更具有优势。
- 唐路路张启灿胡松
- 关键词：边缘检测CANNY算法自适应阈值
- 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置
- 本发明是一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，包括计算机、对准光源、数字微镜、光刻物镜、硅片、成像器件(CCD)、位移工件台、第一和第二分色分光镜，第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜结构上；计算机控制数字...
- 朱江平胡松唐燕陈铭勇唐路路何渝
- 文献传递
- 一种数字光栅无掩模光刻对准方法被引量：1
- 2012年
- 针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计了对准标记以及具体的实现方案,并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证。结果表明,采用频率可变、图像干净、具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅,真正实现了零掩模成本;并且采用变频率数字光栅可以扩大测量范围,减小位移测量误差。最终可以实现深亚微米的对准精度,满足目前无掩模光刻对准精度的要求。
- 唐路路胡松徐峰唐燕陈铭勇朱江平
- 关键词：光栅无掩模光刻
