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潘丽

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文基金：高等学校科技创新工程重大项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇光谱
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱
  • 1篇傅里叶变换红...
  • 1篇傅里叶变换红...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇大连工业大学
  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇张东
  • 1篇管昌雨
  • 1篇白亦真
  • 1篇王健
  • 1篇赵纪军
  • 1篇潘丽
  • 1篇吴占玲
  • 1篇柳浩

传媒

  • 1篇吉林大学学报...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用不同靶材制备B-C-N薄膜及其红外表征
2010年
采用射频磁控溅射方法,分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶,在氩气和氮气的氛围中,沉积B-C-N薄膜.傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明:在1200～1800cm-1和1000～1750cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2200cm-1处出现了CN键的特征吸收峰.表明在沉积的薄膜中,C原子与N原子相结合.分别溅射C和h-BN靶,红外光谱分析表明,B—C键在1100cm-1处未产生吸收峰,即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离,利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.
王健白亦真张东潘丽柳浩管昌雨吴占玲赵纪军
关键词：傅里叶变换红外光谱射频磁控溅射
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