童云华
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：安徽工程大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目安徽省高等学校优秀青年人才基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 微小等离子体反应器的导出机理研究被引量：1
- 2011年
- 提出了一种通过空心阴极底部的微孔及外加偏置电场的方法实现微小等离子体导出的机制,并采用二维流体模型对其进行了数值仿真研究。当工作气体为SF6、工作气压为2～9kPa、微孔半径为0.25μm时,F原子最大束流密度在(1.53～5.62)×1014cm-3.s-1之间,SF5+最大束流密度在(2.46～7.83)×1016cm-3.s-1之间。工作气压为5kPa时,样品表面处F的平均能量为3.82eV,散射角在-14°～14°之间;SF5+的平均能量为25eV,散射角为-13°～14°。当偏置电压在10～50V之间变化时,SF5+平均能量在52～58eV之间变化。上述F、SF5+密度满足硅基底材料的有效刻蚀需要,验证了扫描刻蚀加工的可行性。
- 王海童云华文莉
- 用于薄膜残余应力检测的微指针放大机构被引量：1
- 2012年
- 在MEMS器件中应用的各类薄膜材料在制备过程所产生的残余应力,对器件的性能和可靠性具有较大的影响.设计了一种用于残余应力在线检测的柔性铰链放大机构,并对柔性铰链的结构尺寸与放大机构的角变形和转动刚度的关系进行理论建模,利用FEA软件对3种不同类型柔性铰链的转动刚度进行了数值仿真,为用于残余应力检测的微指针结构的放大机构的优化设计提供了前期研究基础.
- 童云华王海
- 关键词：柔性铰链
- 用于扫描刻蚀加工的微悬臂梁优化设计被引量：1
- 2012年
- 扫描刻蚀加工是一种基于并行探针驱动、集成微小等离子体刻蚀原理的新型微纳米加工手段。特种悬臂梁是扫描刻蚀加工系统中的核心器件,其性能直接影响到系统的可靠性。该特种悬臂梁为集成压电陶瓷驱动薄膜的多层复合梁,在加工工艺过程中所引起的材料内部的残余应力,将导致复合梁加工释放后的弯曲变形,影响扫描刻蚀加工系统的性能。基于弹性薄板理论建立含残余应力项的多层复合梁的理论模型。利用有限元法对多层复合梁进行数值仿真,结合田口优化方法,对多层薄膜的厚度进行优化设计。
- 王海童云华夏小品周荣荻
- 关键词：残余应力有限元法优化设计
- 基于MEMS技术的薄膜残余应力检测技术
- 2010年
- 薄膜材料在制备中都会产生一定的残余应力,而薄膜中残余应力的大小对整个微机电系统的性能和可靠性具有很大的影响.讨论了几种典型的残余应力检测方法,并分析了各自的特点.在此基础上,提出了一种整合微指针结构驱动器和测量探针的新型残余应力测试方法.其核心是设计出一种基于扫描探针的薄膜残余应力在线检测系统.
- 王海童云华
- 关键词：残余应力
- 用于扫描刻蚀加工的特种悬臂梁探针关键技术研究
- 随着微纳米技术的发展,多品种、小批量的微纳米器件的加工技术得到广泛的应用。其中薄膜刻蚀技术是保证微纳米器件制作质量的关键技术。等离子刻蚀由于具备刻蚀效率高、选择性好等特点,广泛应用于各类微纳米器件的加工。不过传统的等离子...
- 童云华
- 关键词：残余应力振动控制
- 文献传递
