周荣荻
- 作品数：5 被引量：10H指数：2
- 供职机构：安徽工程大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金安徽高校省级自然科学研究基金安徽高校省级科学研究项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 微小等离子体反应器的制作及性能测试被引量：3
- 2012年
- 设计了基于并行探针驱动的扫描刻蚀加工系统,用于微纳米尺度的刻蚀加工。研究了系统的核心器件-微小等离子体反应器的电学特性和发射光谱特性,以了解反应器中产生的反应等离子体性能的变化规律。基于微机电系统(MEMS)加工工艺制备了中间带有倒金字塔形状微型空腔的金属-绝缘体-金属3层结构的微小等离子体反应器。搭建了可测量等离子体伏安特性和发射光谱特性的实验系统,对放电气体为SF6,工作气压在5～12kPa,直流驱动模式下的微小等离子体反应器的电学和光谱特性进行了测试。实验结果表明,放电电流随着放电电压的增加而近似线性递增,放电电流由5kPa时的2.1～2.82μA递增到12kPa时的3.6～4.2μA,表明所产生的微小等离子体处于异常辉光放电模态。当器件特征尺寸由150μm减小至30μm时,微小等离子体发射光谱中氟原子特征谱线(703.7nm)峰值增大了约56%,表明微小等离子体的浓度随尺度缩小而增强。实验结果表明,设计的微小等离子体反应器基本满足扫描刻蚀加工所需的高浓度等离子体源的性能要求。
- 王海夏小品周荣荻
- 关键词：伏安特性发射光谱
- 多指灵巧手关节空间的轨迹规划研究被引量：1
- 2012年
- 为确保灵巧手能在规定的时间内完成既定的任务,并要求抓取的动作满足连续、平滑等要求。可以利用抛物线连接的线性函数插值法对其进行轨迹规划。并讨论如何根据给定的路径点规划出的运动轨迹参数,实时地产生运动轨迹。
- 周荣荻王海
- 关键词：多指灵巧手
- 多指灵巧手的运动学模型研究被引量：3
- 2012年
- 要对灵巧手的各个关节进行实时控制,就必须要对各关节的位移、速度、加速度、力等情况进行研究.以自行设计的仿人多指灵巧手结构为基础,建立DH模型,对灵巧手的位姿和坐标变换进行分析,设置手指各关节的坐标系,确定各关节的齐次坐标变换矩阵,建立运动学方程.运用运动学的正解和逆解,分析、求解出相应的参数.为下一步研究动力学以及研究灵巧手的抓取规划和运动控制提供依据,从而灵巧手达到良好的动态性能和最优指标.
- 周荣荻王海夏小品周璇
- 关键词：多指灵巧手运动学正解运动学逆解
- 用于扫描刻蚀加工的微悬臂梁优化设计被引量：1
- 2012年
- 扫描刻蚀加工是一种基于并行探针驱动、集成微小等离子体刻蚀原理的新型微纳米加工手段。特种悬臂梁是扫描刻蚀加工系统中的核心器件,其性能直接影响到系统的可靠性。该特种悬臂梁为集成压电陶瓷驱动薄膜的多层复合梁,在加工工艺过程中所引起的材料内部的残余应力,将导致复合梁加工释放后的弯曲变形,影响扫描刻蚀加工系统的性能。基于弹性薄板理论建立含残余应力项的多层复合梁的理论模型。利用有限元法对多层复合梁进行数值仿真,结合田口优化方法,对多层薄膜的厚度进行优化设计。
- 王海童云华夏小品周荣荻
- 关键词：残余应力有限元法优化设计
- 多指灵巧手的抓取规划策略研究
- 随着社会的发展,人们对生活和工作的要求越来越高。因为机器人能代替人类从事很多复杂、危险的工作,所以当下关于机器人的研究被视为非常热门的课题。机器人多指灵巧手是任务执行的终端操作装备,研究灵巧手时会对其灵活性、智能性、易控...
- 周荣荻
- 关键词：多指灵巧手运动学动力学抓取规划力封闭
- 文献传递
