张旭辉
- 作品数：11 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术交通运输工程更多>>
- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本发明公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加速度...
- 杨拥军吕树海徐淑静徐爱东张旭辉
- 文献传递
- 低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法被引量：2
- 2015年
- 提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性。首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比,本方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.58 kHz和0.015,扫频测试方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.66 kHz和0.005。结果显示,该方法所得结果具有较好的精度,并具有操作简单、快速、重复性好及系统搭建成本低等优点。该方法已应用于汽车碰撞用MEMS压阻加速度传感器的生产,作为检测和筛选的测试手段。
- 张旭辉徐爱东卞玉民
- 关键词：压阻加速度传感器汽车碰撞阻尼比
- MEMS惯性器件划片工艺技术要求
- 本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中划片的工艺流程、工艺要求和检验要求。本标准适用于圆片的砂轮划片工艺。
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- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本实用新型公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加...
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- 文献传递
- 微加速度与微角速率单片集成传感器
- 本发明公开了一种微加速度与微角速率单片集成传感器，包括密封外壳和位于外壳内部的传感器感应芯，该感应芯为中间具有空腔的框形上下层结构，在空腔中设有与框架连接的加热器和温度传感器，加热器和下层温度传感器位于下层，构成微加速度...
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- 文献传递
- MEMS压阻式汽车碰撞传感器频率特性的一种快捷评估方法
- 本文介绍了一种MEMS压阻式汽车碰撞传感器频率特性的快捷评估方法，可快速获得传感器的谐振频率和阻尼比等信息。该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比，结果显示，该方法具有操作简单、快速、系统搭建成本低并且具...
- 张旭辉卞玉民吝海锋
- 关键词：频率特性扫频测试阻尼比
- 微加速度与微角速率集成传感器制造方法
- 本发明公开了一种微加速度与微角速率集成传感器制造方法，采用气体(如氩气、氮气、二氧化碳等气体)作为感知元件，在一个衬底上制备微加速度传感器需要的温度传感器和加热器，该温度传感器和加热器悬空在衬底腔体中，在另一个衬底上制备...
- 吕树海杨拥军徐淑静徐爱东张旭辉
- 文献传递
- 微机械热对流加速度传感器的频响特性及补偿被引量：2
- 2013年
- 在分析微机械热对流加速度传感器的工作原理及其有限元仿真的基础上,对传感器的瞬态响应进行了分析,建立了描述热对流加速度传感器频率响应特性的半定量的理论模型。结合有限元仿真结果,模型预测的热对流加速度传感器的频响与实际的传感器的频响较好地吻合。设计了传感器频率补偿电路,讨论了电路参数优化的途径,通过电路仿真方法得到优化的电路参数,仿真得到的补偿之后-3 dB带宽为112.5 Hz,构筑了传感器频率补偿电路并对补偿效果进行测试。结果表明:补偿之前-3 dB带宽为22.6 Hz,补偿之后实测-3 dB带宽拓展为106.0 Hz,与仿真结果基本吻合,成功将传感器频响扩展到100 Hz以上,满足应用的需要。
- 徐爱东张旭辉
- 关键词：加速度传感器热对流频率响应频率补偿
- 热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用
- 2015年
- 微加热器是MEMS气体传感器的重要功能部件,其结构设计与温度控制是MEMS气体传感器设计的重要环节。针对一类典型MEMS气体传感器设计了一款采用热Σ-Δ调制技术的电路,对其微加热器进行闭环温度控制,相比传统的模拟闭环控制电路,该电路结构简单,对元件失配性要求低,在实现温度控制的同时实现了加热器激励信号的数字化。此外,作为调节控制的MOS管工作在开关状态,显著降低其功耗和对功率容量的要求。重点介绍了微加热器的热电等效模型、热Σ-Δ调制控制的基本工作原理、实现电路与测试结果等,实验数据表明微加热器温度控制环路信噪比可达60 dB以上。将其应用于一款可探测挥发性有机物(VOC)的MEMS气体传感器,温度控制稳定性达到0.75%,满足了传感器性能要求。
- 张旭辉徐爱东
- 关键词：气体传感器微加热器微热板
- 一种汽车碰撞试验用低阻尼宽频响加速度传感器被引量：4
- 2017年
- 基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器。为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过载的新颖限位结构,保证了低阻尼传感器高过载、高可靠性。传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)片加工,并利用硅硅键合与共晶键合工艺相结合实现了圆片级气密封装,具有易于批量生产的优势,可以广泛应用于汽车碰撞试验。封装后的传感器采用振动法和冲击法进行性能测试,测试结果表明,传感器的量程范围大于2 000g,阻尼比为0.023,谐振频率约27.6 kHz,带内平坦度在±4%范围内带宽大于5 kHz,传感器在多次承受20 000g的冲击下没有失效。
- 肖咸盛杨拥军卞玉民张旭辉
- 关键词：压阻加速度传感器
