谭默言
- 作品数:9 被引量:8H指数:1
- 供职机构:上海应用技术学院理学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域:理学机械工程电子电信文化科学更多>>
- 小波变换表征多层膜氧化层、界面层和膜厚漂移被引量:1
- 2009年
- 用小波变换的方法分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线.从小波变换的自相关函数峰位和峰强度信息中得到了常规曲线拟合方法难以表征的含有氧化层、界面层或厚度漂移的多层膜结构,利用其作为多层膜的初始结构再进行常规的曲线拟合,可实现多层膜结构精确表征的目的.研究成功地鉴别出钒单层膜的表面存在约3 nm厚的氧化层,分析得到Mo/Si多层膜的界面纯粗糙度约0.42 nm,表明在Ni/C多层膜中接近表面和基底的膜层存在大于5%的厚度漂移.
- 蒋晖徐敬朱京涛潘磊代敏谭默言王占山陈玲燕
- 关键词:薄膜光学纳米多层膜小波变换自相关函数氧化层界面粗糙度
- 基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计
- 2011年
- 基于三种不同评价函数,利用全局优化算法设计了极紫外波段高性能反射式多层膜偏振元件。通过比对不同评价函数的设计结果,分析了评价函数、工作角度及膜层数对反射式多层膜偏振片性能的影响,确定了极紫外多层膜反射式偏振片设计的角度选择、膜层数选择及评价函数选择标准。为解决传统的单一性能优化造成的偏振度损失的问题,构造了偏振比对数结合反射率的评价函数,该方法设计的偏振元件性能优于传统优化方法设计的结果。
- 谭默言朱京涛王占山
- 关键词:多层膜偏振极紫外评价函数
- 极紫外与软X射线用非晶碳膜全反射镜的研究
- 2016年
- 用高真空磁控溅射设备分别在工作气压为0.40Pa和0.67Pa下制备了非晶碳膜全反射镜样品,利用X射线掠入射反射测量了膜层厚度、粗糙度和膜层密度,用原子力显微镜测量了样品的表面粗糙度,用同步辐射测量了不同工作气压下制备的非晶碳膜全反射镜的反射率,并对测量结果进行了分析讨论.测试结果表明:在0.40Pa工作气压下制备的非晶碳膜反射镜的性能优于在0.67Pa工作气压下制备的反射镜的性能,在掠入射角小于4.5°时,非晶碳膜全反射镜在5nm以上波段有比较平坦的高反射率,在波长小于5nm波段,反射率急剧下降.
- 谭默言蒋励王占山
- 关键词:非晶碳软X射线磁控溅射反射率
- 在19.5nm处高反在30.4nm处抑制的双功能薄膜
- 2011年
- 研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构,在国家同步辐射实验室测试了双功能多层膜的反射特性。结果表明:制备出的双功能膜性能与设计相符,在入射角13,°19.5 nm处的反射率达到33.3%,接近传统的19.5 nm周期高反膜的反射率,并且在30.4 nm附近将反射率由1.1%降到9.6×10-4。
- 蒋励王晓强谭默言黄秋实李浩川周斯卡朱京涛王占山
- 关键词:双功能多层膜极紫外直流磁控溅射
- 高反射率Mo/B_4C多层膜设计及制备被引量:6
- 2008年
- 运用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜结构。入射光入射角度取10°时,设计的理想多层膜膜对数为150,周期为3.59 nm,Gamma值(Mo膜厚与周期的比值)为0.41,峰值反射率为33.29%。采用恒功率模式直流磁控溅射方法制作Mo/B4C多层膜。通过在Mo/B4C多层膜与基底之间增加15 nm厚的Cr粘附层,提高多层膜与基底的粘附力。另外,还采用调整多层膜Gamma值的方法减小其内应力,调整后多层膜结构周期为3.59 nm,Mo膜厚1.97 nm,B4C膜厚1.62 nm,峰值反射率26.34%。制备了膜对数为150的Mo/B4C膜并测量了其反射率,在波长7.03 nm处,Mo/B4C多层膜的近正入射反射率为21.0%。最后对测量结果进行了拟合,拟合得到Mo/B4C多层膜的周期为3.60 nm,Gamma值0.60,界面粗糙度为0.30 nm。
- 张慧晶张众朱京涛白亮陈锐黄秋实刘丽琴谭默言王风丽王占山陈玲燕
- 关键词:软X射线直流磁控溅射应力反射率
- 大学物理课程育人功能研究
- 2018年
- 本文以大学物理课程为平台,提炼公共基础课程中蕴含的文化基因和价值范式,进行教学内容和教学环节的设计,整合课程内容,组织教学反馈,结合反馈信息进一步优化教学设计,将知识传授与德育教育相结合,实现综合育人。
- 谭默言包树芳林晓艳王竑马皓
- 关键词:大学物理德育教育教学设计
- 大学物理课程差异化教学调查分析被引量:1
- 2016年
- 基于生源教育基础及主观意愿的差异,采用自编大学物理差异化教学调查问卷,获取学生对大学物理课程差异化教学设置的需求信息。
- 谭默言居家奇孔晋芳
- 关键词:大学物理差异化问卷调查
- 城市智慧路灯系统的若干设计问题探讨
- 智慧城市的建设是目前国内外都在进行的热点课题,如果能够提高智慧照明在智慧城市大架构发展过程中的作用,有利于节约能源,提高照明灯具的使用寿命,更方便了居民的生活,满足其对照明环境的需求。本文针对以上提出的情况,在道路照明的...
- 牛阳谭默言居家奇王爱群
- 关键词:智慧城市LED灯具数据管理
- 文献传递
- 高反射率Mo/B4C多层膜研究
- Mo/B4C多层膜是6.7~8nm波段高反射率反射镜较好的材料组合,用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜,得到了相应的结构参数,采用直流磁控测射方法实现了Mo/B4C多层膜的制作。运用同步辐射光原完成了Mo/B4C多层...
- 张慧晶王占山陈玲燕张众朱京涛白亮陈锐黄秋实刘丽琴谭默言王风丽
- 关键词:多层膜遗传算法反射率
- 文献传递