李广
- 作品数：3 被引量：13H指数：3
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 六自由度磁浮微动台电磁场建模与计算被引量：4
- 2010年
- 为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台电磁力-位移特性进行了分析。采用数值方法计算了微动台电磁单元绕组损耗引起的温升。结果表明:该微动台具有驱动力大、结构简单、散热方便等优点,可为我国自主产权光刻机微动台设计提供参考。
- 李广张鸣朱煜段广洪Masayoshi Tomizuka
- 关键词：微动台电磁场计算光刻机
- 六自由度微动台热特性分析与散热设计被引量：3
- 2011年
- 温升是引起微动台精度和环境变化的重要因素,从热特性分析着手进行微动台优化设计是提高微动台性能的一条重要途径。论文提出了一种新型纳米精度六自由度微动台结构,给出了微动台的发热热源、定子线圈等效导热系数和自然对流及强制水冷条件下表面散热系数,建立了微动台三维温度场的数学模型。根据热传导理论,完成了微动台定子线圈稳态温度场的理论计算,并采用数值方法计算了微动台在自然对流和强制水冷条件下的三维温度场分布。根据计算和分析结果,完成了微动台冷却系统的设计。结果表明,采用强制水冷后,微动台动子温升不超过1℃,满足微动台工程设计要求。
- 李广张鸣朱煜段广洪Masayoshi Tomizuka李广
- 关键词：微动台热分析散热设计光刻机
- 光纤传感器应变量测的标定系数修正被引量：8
- 2001年
- 为提高埋置式光纤传感器标定系数的精度 ,分析了原有理论模型误差较大的原因 :传感器中起保护作用的涂层是弹塑性材料 ,但在测量理论中采用了线弹性模型。该文采用理想弹塑性模型 ,分别对受拉和受压两种状态建立了相应的理论模型 ,校正了标定系数公式 ,并完成了相应的试验 ,且两者吻合较好。
- 李广李庆斌张文翠
- 关键词：光纤传感器理想弹塑性混凝土
