李寿洛
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：杭州电子科技大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析被引量：3
- 2010年
- 改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑梁、振子厚度以及振子到衬底的距离的条件下,栅形结构传感器的振子质量最大,空气阻尼最小,适合制作高分辨率的传感器;在大气下,梳齿结构灵敏度增加的同时空气阻尼力也会增加,且振子质量较小,适合制作高灵敏度,低分辨率传感器结构;梳栅结构的特点居于两者之间,适合制作需要兼顾分辨率和灵敏度的传感器。通过实例计算,证明了该结果。
- 董林玺李寿洛陈金丹颜海霞许立王光义孙玲玲
- 关键词：MEMS
- 三维电容式微加速度传感器的设计与相关特性研究
- MEMS电容式加速度传感器具有灵敏度高、温度系数小、功耗和成本低等优点，已经在汽车、工业、消费电子、石油探测、导航等领域得到了十分广泛的应用，具有非常广阔的市场前景和研究潜力。
本论文首先分析了不同检测电容结构对M...
- 李寿洛
- 关键词：电容式加速度传感器灵敏度分辨率有限元软件误差补偿
- 文献传递
