许立
- 作品数：4 被引量：6H指数：2
- 供职机构：杭州电子科技大学电子信息学院微电子CAD研究所更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 静电梳齿结构横向间隙的边缘效应分析被引量：2
- 2010年
- 提出静电驱动梳齿结构横向静电力的边缘效应问题。通过对传统平行板电容器的静电力分析,着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应与静电力的影响,并与Ansoft有限元仿真结果对比。结果表明:当大间隙时,梳齿受到的边缘效应不明显,但较大电压时会出现静电力与电压平方的非线性现象;当小间隙时,平行板电容器模型公式不再适用,间隙值越小,电压越大时,耦合作用越明显,梳齿横向静电力越大,受到边缘效应的影响越大,横向静电力不再为恒定值。
- 许立董林玺王威
- 一种用于微谐振器频率调节的静电梳齿结构设计
- 2010年
- 针对微梳齿谐振器频率偏移的问题,提出了一种用于微谐振器频率调节的曲线形状静电梳齿结构。通过对梳齿简单模型的静电力分析,得出其静电力-位移特性,其斜率就是静电弹性系数;然后从谐振频率出发,分析了影响谐振频率的因素。研究结果表明,对于梳齿式微谐振器,当调谐电压从0 V变化到80 V左右时,器件的有效弹性系数从2.64 N/m减小到1.23 N/m左右,且谐振频率从自然谐振频率18.9 kHz减小到13 kHz,降幅分别为53%和31%。实验结果表明,这种曲线梳齿"软化"了静电微谐振器或者微驱动器的系统弹性,能够有效地调节谐振频率。
- 许立董林玺王威
- 关键词：微谐振器
- 不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析被引量：3
- 2010年
- 改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分析比较,重点分析了振子质量、空气阻尼、系统阻尼系数比以及灵敏度等特性,得出在相同的外轮廓尺寸、支撑梁、振子厚度以及振子到衬底的距离的条件下,栅形结构传感器的振子质量最大,空气阻尼最小,适合制作高分辨率的传感器;在大气下,梳齿结构灵敏度增加的同时空气阻尼力也会增加,且振子质量较小,适合制作高灵敏度,低分辨率传感器结构;梳栅结构的特点居于两者之间,适合制作需要兼顾分辨率和灵敏度的传感器。通过实例计算,证明了该结果。
- 董林玺李寿洛陈金丹颜海霞许立王光义孙玲玲
- 关键词：MEMS
- 梳齿式振动微机械谐振器的相关特性研究
- 随着科技的发展,MEMS技术在军民应用中越来越广泛。其中,微谐振器是MEMS中最重要的一种器件,由于它具有能实现机械能和其他能量之间的转换、可以产生较大的振动幅值、设计灵活等优点,在射频通信、国防军工、消费电子等领域有着...
- 许立
- 关键词：等效电路微加工工艺
- 文献传递
