刘博
- 作品数：21 被引量：44H指数：4
- 供职机构：河北工业大学更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信建筑科学金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 低k介质与铜互连集成工艺被引量：14
- 2006年
- 阐明了低k介质与铜互连集成工艺取代传统铝工艺在集成电路制造中所发挥的关键作用。依照工艺流程,介绍了如何具体实现IC制造多层互连工艺:嵌入式工艺、低k介质与平坦化、铜电镀工艺与平坦化;阐述了工艺应用现况与存在的难题,给出了国际上较先进的解决方法。
- 孙鸣刘玉岭刘博贾英茜
- 关键词：化学机械抛光
- 基于模糊理论的猪舍环境控制系统的设计与研究
- 随着国民经济的发展，居民对肉类食品的需求也逐年增长，为了保障肉类产品持续健康的发展，国家逐步加大了对生猪养殖行业的投入，规模化、集约化的养殖方式成为了重要发展方向。良好的养殖环境、适宜的温度、湿度等气候条件可以大大的提升...
- 刘博
- 关键词：猪舍环境控制系统仿真技术
- 文献传递
- ULSI多层铜布线化学机械抛光中碟形坑的控制方法
- 本发明公开了一种ULSI多层铜布线化学机械抛光中碟形坑的控制方法，其特征是：选取SiO<Sub>2</Sub>水溶胶为磨料，用不同倍数的去离子水稀释，同时加入金属离子螯合剂用以调节pH为9.5-11.5，加入非离子表面活...
- 刘玉岭刘博
- 文献传递
- ULSI多层铜布线化学机械抛光中平整度的控制方法
- 本发明涉及一种ULSI多层铜布线化学机械抛光中平整度的控制方法，其特征是：在碱性条件下选取高浓度的SiO<Sub>2</Sub>水溶胶为磨料，用不同倍数的去离子水稀释，同时加入金属离子螯合剂、非离子表面活性剂，在抛光进行...
- 刘玉岭刘博
- 文献传递
- 高强聚合物砂浆-FRP加固砌体墙抗剪性能及破坏机理分析
- 砌体结构是我国大量存在的结构形式。传统砖砌体房屋建筑抗震性能差,震后倒塌现象严重。一方面,我国仍大量存在砖砌房屋,这类房屋的质量问题将是很大的安全隐患,此类砌体房屋亟待加固。另一方面,在砌体结构房屋施工过程中,对原有设计...
- 刘博
- 关键词：砌体结构FRP有限元
- 一种陆地油品回收装置
- 本实用新型涉及一种陆地油品回收装置，其特征在于该装置包括驱动部分、收集处理部分和储存部分，所述驱动部分用于产生压强差，提供抽取动力，与储存部分的排气口连接；收集处理部分用于收集待收集油品，与储存部分的进口相连；所述收集处...
- 孟紫寒陈玲玲于海波安麦灵刘博倪天琦刘家旭
- 文献传递
- 一种陆地油品回收装置及收集方法
- 本发明涉及一种陆地油品回收装置及收集方法，其特征在于该装置包括驱动部分、收集处理部分和储存部分，所述驱动部分用于产生压强差，提供抽取动力，与储存部分的排气口连接；收集处理部分用于收集待收集油品，与储存部分的进口相连；所述...
- 孟紫寒陈玲玲于海波安麦灵刘博倪天琦刘家旭
- 文献传递
- ULSI多层铜布线化学机械抛光中平整度的控制方法
- 本发明涉及一种ULSI多层铜布线化学机械抛光中平整度的控制方法，其特征是：在碱性条件下选取高浓度的SiO<Sub>2</Sub>水溶胶为磨料，用不同倍数的去离子水稀释，同时加入金属离子螯合剂、非离子表面活性剂，在抛光进行...
- 刘玉岭刘博
- 文献传递
- ULSI多层互连中的化学机械抛光工艺被引量：12
- 2006年
- 介绍了化学机械抛光(CMP)技术在大规模集成电路多层互连工艺[1]中的重要作用,对CMP过程和CMP的影响因素进行简单分析。总结出CMP技术在多层互联平坦化中的优势,介绍目前常用互连材料中SiO2介质及其金属材料钨和铜的化学机械抛光常用分析机理,并简单介绍了各种互联材料常用的抛光液及抛光液的组分,对抛光液作了简单的对比。针对传统CMP过程存在的问题,分析了皮带式和固定磨料的CMP技术。
- 贾英茜刘玉岭牛新环刘博孙鸣
- 关键词：化学机械抛光多层互连抛光液钨
- ULSI多层铜布线CMP影响因素分析研究被引量：10
- 2006年
- 研究了ULSI多层互连工艺中铜布线的CMP的机理;对影响抛光速率和抛光后表面状态的诸因素,如抛光条件、抛光方式和抛光耗材进行了分析;特别针对抛光液对铜布线CMP的影响,提出了目前存在的主要问题,并对未来的研究方向和研究内容进行了展望。
- 刘博刘玉岭孙鸣贾英茜刘长宇
- 关键词：化学机械抛光铜布线抛光液
