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陈晟

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：同济大学理学院物理系更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇掩膜
  • 1篇原子
  • 1篇原子光刻
  • 1篇纳米光刻
  • 1篇几何光学
  • 1篇光刻
  • 1篇光学

机构

  • 1篇同济大学

作者

  • 1篇邓晓
  • 1篇王建波
  • 1篇李同保
  • 1篇马艳
  • 1篇张萍萍
  • 1篇陈晟
  • 1篇马蕊

传媒

  • 1篇红外与激光工...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
原子纳米光刻中双层光学掩膜的实现方法研究被引量：2
2014年
利用原子光刻的方法制备纳米结构的光栅已经成为了一种较为成熟的工艺。通过原子与激光驻波场的相互作用,利用原子自生在势能场中的偶极力对原子的密度进行调制,从而得到所需要的光栅结构。利用此种工艺所制备的光栅相对于传统工艺来说具有精度高,光栅常数直接溯源于原子能级。希望能够通过对激光的改良来提升原子沉积结果。通过双层驻波场来提高原子沉积质量已经被多次提到。实验中利用几何光学的方法实现了所需要的新型激光驻波场。并对其汇聚,相干等特性进行了研究,取得了较为满意的结果。为利用双层驻波场来沉积原子打下了基础。
陈晟马艳张萍萍王建波邓晓肖盛炜马蕊李同保
关键词：原子光刻几何光学
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