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文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电注入
  • 1篇磷化铟
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇脊波导
  • 1篇脊形
  • 1篇脊形波导
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体激光
  • 1篇半导体激光器
  • 1篇波导

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇季海铭
  • 1篇罗帅
  • 1篇杨涛
  • 1篇高凤
  • 1篇许峰

年份

  • 1篇2016
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
磷化铟基窄脊波导半导体激光器的制备方法
一种磷化铟基窄脊波导半导体激光器的制备方法,包括如下步骤:在磷化铟基外延片P面接触层上进行光刻,将光刻版上条形脊波导的图形转移到光刻胶上;以光刻胶为掩膜,腐蚀掉部分磷化铟基外延片上没有被光刻胶保护的P面接触层部分,形成脊...
杨涛许峰罗帅高凤季海铭
文献传递
共1页<1>
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