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许峰
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中国科学院半导体研究所
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合作作者
高凤
中国科学院半导体研究所
杨涛
中国科学院半导体研究所
罗帅
中国科学院半导体研究所
季海铭
中国科学院半导体研究所
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季海铭
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许峰
年份
1篇
2016
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磷化铟基窄脊波导半导体激光器的制备方法
一种磷化铟基窄脊波导半导体激光器的制备方法,包括如下步骤:在磷化铟基外延片P面接触层上进行光刻,将光刻版上条形脊波导的图形转移到光刻胶上;以光刻胶为掩膜,腐蚀掉部分磷化铟基外延片上没有被光刻胶保护的P面接触层部分,形成脊...
杨涛
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