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江田弘

作品数：1 被引量：29H指数：1
供职机构：日本茨城大学更多>>
发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇正交
  • 1篇正交试验
  • 1篇正交试验法
  • 1篇石英玻璃

机构

  • 1篇日本茨城大学
  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇仇中军
  • 1篇房丰洲
  • 1篇周立波
  • 1篇江田弘
  • 1篇椎名刚志

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
石英玻璃的化学机械磨削加工被引量：29
2010年
为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工,进一步改善光掩模设备的性能,进行了石英玻璃化学机械磨削(CMG)加工技术的研究。通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应,并使化学反应与机械去除作用形成动态平衡,从而消除因材料脆性去除而造成的表面损伤等,实现了大口径玻璃工件的高表面质量、高形状精度的加工。针对石英玻璃CMG加工的特点,开发了CMG专用砂轮及磨削液,利用正交实验法优化了石英玻璃CMG加工工艺参数,分析了CMG加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、pH值等因素对加工表面粗糙度及加工效率的影响,并利用优化后的工艺参数加工得到了Ra为0.795nm的石英玻璃表面。加工后基板的光学性能和化学机械抛光(CMP)加工基板的光学性能相同,能够满足光掩模设备的性能需求。
仇中军周立波房丰洲椎名刚志江田弘
关键词：石英玻璃正交试验法
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