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卫应亮

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：湖北省等离子体化学与新材料重点实验室更多>>
发文基金：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目湖北省科技攻关计划更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇织构
  • 1篇金刚石薄膜

机构

  • 1篇湖北省等离子...

作者

  • 1篇曹菊琴
  • 1篇满卫东
  • 1篇汪建华
  • 1篇熊礼威
  • 1篇卫应亮

传媒

  • 1篇应用化工

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长的影响被引量：3
2006年
以H2和CH4的混合气体为气源,用微波等离子体辅助化学气相沉积法(MPECVD)在1 cm×1 cm S i(100)基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜(SEM),Ram an光谱对金刚石膜的表面形貌、质量进行了分析。结果表明,当基体温度为750℃,气压为4.8×103Pa,甲烷浓度为1.4%时,薄膜表面为(100)织构。
曹菊琴汪建华满卫东熊礼威卫应亮
关键词：金刚石薄膜
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