康文博
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：西北工业大学基础研究基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 沉积温度对氧化锆薄膜显微结构的影响被引量：3
- 2012年
- 采用直流反应磁控溅射工艺在25、300℃沉积温度下分别制备了ZrO2薄膜和YSZ薄膜。结果表明,沉积温度对ZrO2薄膜沉积速率的影响不大,而对YSZ薄膜沉积速率的影响则很大。与YSZ薄膜相比,ZrO2薄膜容易形成结晶态。25℃时所制备的ZrO2薄膜为非晶态,300℃时则为单斜晶体结构,薄膜的结晶程度随沉积温度的升高而提高。而两种温度下制备的YSZ薄膜均为非晶态薄膜。随沉积温度的升高,ZrO2薄膜表面变得致密光滑,而YSZ薄膜表面则变得粗糙不平。
- 康文博罗发周万城朱冬梅黄智斌
- 关键词：沉积温度磁控溅射ZRO2薄膜
- 金属陶瓷红外隐身透波复合薄膜的制备与性能研究
- 金属陶瓷复合薄膜是一种由金属相和陶瓷相共同组成的薄膜,由于其具有独特的光学性能,被广泛应用于光学器件和太阳能光热器件等领域。一般而言,金属在红外和微波波段具有较强的反射率,而电介质陶瓷在红外和微波波段具有较高的透过率,因...
- 康文博
- 关键词：红外发射率
