宓彬伟
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计
- 2009年
- 给出了一种用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计,针对MEMS惯性器件大多采用电容量输出等特点,设计了一个低噪声运算放大器,利用该运放,设计了一种基于开关电容的电荷转移电路来将电容量转换为电压量,以便后续电路处理。采用了相关双采样(CDS)技术,较大地减少了电路和MEMS惯性器件的1/f噪声、热噪声,抑制了零漂。采用HHNEC 0.35μmCMOS工艺制造,面积为1 mm×2 mm,与MEMS器件封装在一起,并进行了实际测试,结果表明,该读出电路基本满足要求,并具有较低的噪声。
- 李金鹏焦继伟宓彬伟张颖王跃林
- 关键词：低噪声微电子机械系统相关双采样电荷转移惯性器件
