张伟伟
- 作品数：10 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 组合式反射镜光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法
- 本发明公开一种组合式反射镜光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法，属于激光精密测量技术领域。该装置包括：激光源，用于提供激光束和参考信号，其中激光束包含频率不同且线偏振方向正交的第一偏振分量和第二偏振分量，参考信号的频率对应...
- 汤善治李明韩庆夫张伟伟盛伟繁
- 文献传递
- 基于双闪耀光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法
- 本发明公开一种双闪耀光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法，属于激光精密测量技术领域。该装置包括：激光源，用于提供激光束和参考信号，其中所述激光束包含频率不同且线偏振方向正交的第一偏振分量和第二偏振分量，所述参考信号的频率对...
- 汤善治李明韩庆夫张伟伟盛伟繁
- 文献传递
- 聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform透镜的制作
- 2017年
- 为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能,利用LIGA(Lithographie,Galvanoformung,Abformung)技术,制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材质硬X射线组合Kinoform透镜(CKL),并获得了良好的面形。制备的CKL以宽度为几个微米的细窄线条为主要结构,包括曲面和直角面形,线条最窄宽度为2μm。为保证CKL良好的曲面及直角结构,样品制备分为三部分:过渡掩模板的制备,LIGA掩模板的制备,以及最终样品的硬X射线曝光制备。在LIGA掩模板制备过程中,采用制备有纳米柱阵列的硅衬底有效解决了光刻胶脱胶的问题。在最终样品制备过程中,选用分子量较高的PMMA片作衬底,提高了PMMA刚度,有效缓解了细窄线条的倒塌黏连问题,保证了CKL的良好面形。在北京同步辐射光源(BSRF)成像站测试了CKL透镜的性能,结果显示其对于8keV的X射线,聚焦焦斑的半高全宽(FWHM)为440nm。
- 刘静伊福廷盛伟繁常广才张伟伟
- 一种X射线变焦透镜系统及其变焦方法
- 本发明公开了一种X射线变焦透镜系统及其变焦方法。本系统的特征在于包括基座，该基座一侧设有多个调节臂，顶部设置一驱动组件，底部设置有定位槽；其中，调节臂自上而下为依次连接的推杆、推‑推棘轮机构、预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴...
- 汤善治任中睿张伟伟盛伟繁李明
- 文献传递
- 镍基棱镜型高能X射线聚焦组合折射透镜的研制
- 2020年
- 组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点。为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是保证和关键。我们研制了一种棱镜型的高能X射线聚焦组合折射透镜,透镜整体由5280个齿状结构组合而成,最小的特征尺寸为10μm,口径为1.77 mm。利用LIGA技术,成功完成高度为500μm的镍基棱镜型高能X射线组合折射透镜的制备。为保证透镜良好尖角结构,在制备过程中采用电子束直写并且逐步加大掩膜版厚度的方法,先后制备了过渡掩膜版和LIGA掩膜版,保证了透镜良好的形貌,尖角略有钝化。在上海光源X射线成像及生物医学应用光束线(BL13W1)完成了透镜的在线测试,结果表明:该透镜将50 keV的X射线聚焦到7.7μm,增益为14倍。
- 刘静常广才伊福廷张伟伟
- 关键词：LIGA技术
- 一种消像差X射线复合折射透镜及其设计方法
- 本发明公开了一种消像差X射线复合折射透镜及其设计方法。本方法为：X光入射至CRL上的第一个面L<Sub>1</Sub>，根据费马原理推导出将入射光聚焦至f<Sub>1</Sub>的面L<Sub>1</Sub>及其厚度d<...
- 张伟伟王家园常广才汤善治刘静李明盛伟繁刘鹏
- 文献传递
- 一种透射型多层膜光学元件的加工方法
- 本发明公开了一种透射型多层膜光学元件的加工方法，其步骤包括：1)使用磁控溅射镀膜方法在基底上制备多层膜；2)根据透射型多层膜光学元件的设计焦距对所述多层膜进行切割；3)对步骤2)处理后的多层膜进行预刻蚀，将多余的多层膜结...
- 岳帅鹏王亚冰侯庆艳张伟伟常广才李明刘鹏
- 一种X射线变焦透镜系统及其变焦方法
- 本发明公开了一种X射线变焦透镜系统及其变焦方法。本系统的特征在于包括基座，该基座一侧设有多个调节臂，顶部设置一驱动组件，底部设置有定位槽；其中，调节臂自上而下为依次连接的推杆、推‑推棘轮机构、预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴...
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- 一种透射型多层膜光学元件的加工方法
- 本发明公开了一种透射型多层膜光学元件的加工方法，其步骤包括：1)使用磁控溅射镀膜方法在基底上制备多层膜；2)根据透射型多层膜光学元件的设计焦距对所述多层膜进行切割；3)对步骤2)处理后的多层膜进行预刻蚀，将多余的多层膜结...
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- 一种消像差X射线复合折射透镜及其设计方法
- 本发明公开了一种消像差X射线复合折射透镜及其设计方法。本方法为：X光入射至CRL上的第一个面L<Sub>1</Sub>，根据费马原理推导出将入射光聚焦至f<Sub>1</Sub>的面L<Sub>1</Sub>及其厚度d<...
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