孙天玉
- 作品数：19 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
- 亚波长光栅波导结构真彩元件及其制作方法
- 本发明提供了一种亚波长光栅波导结构真彩元件及其制作方法。该真彩元件一般由光栅层、薄膜层和衬底层构成，在确定了各层的材料之后，通过调整光栅的周期、占宽比以及光栅层和薄膜层的厚度就可以从入射自然光中分离出红、绿、蓝三基色的真...
- 孙天玉张宝顺
- 文献传递
- 多孔径相干合束接收器及其制作方法
- 本发明公开了一种多孔径相干合束接收器的制作方法，制作方法包括：在衬底上形成包括多个第一光波导的光波导阵列和包括第二光波导和合束部的光波导合束器，其中，合束部具有多个光波导分支部，第二光波导和第一光波导对应连接到多个光波导...
- 孙天玉邢政张学敏张宝顺
- 文献传递
- 一种用于相控激光扫描的芯片式光学天线及其制作方法
- 本发明公开了用于激光相控扫描的芯片式光学天线及其制作方法，所述光学天线包括衬底和弯曲光波导，所述弯曲光波导包括位于衬底上的水平波导段和连接于水平波导段末端的弯曲波导段。所述方法包括：提供一衬底并在所述衬底上制作平面光波导...
- 孙天玉张宝顺
- 文献传递
- 微立体光刻中光敏树脂特性的实验研究被引量：1
- 2011年
- 微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术。在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光敏树脂的曝光量阈值和透射深度是光敏树脂的两个重要的特性参数。对掺入质量比20%氧化硅纳米颗粒自行制备的光敏树脂的两种特性值进行测试研究,测量得到光敏树脂在氮气环境中比与在空气中的曝光量阈值小,分别为5.6 mJ/cm2以及86.5 mJ/cm2;加入光吸收剂后的透射深度比不加入光吸收剂的透射深度小,分别为14以及60。根据测量的树脂的特性值,使用实验室开发的微反射镜动态掩膜微立体光刻系统,成功制作微齿轮。
- 周庚侠班书宝顾济华孙天玉吴东岷
- 关键词：复合材料
- 微反射镜的制造方法
- 本发明提供一种微反射镜的制造方法，制造方法包括步骤：提供一(100)晶面的硅衬底；在硅衬底的顶面和底面分别生长一介质层；对硅衬底顶面的介质层进行刻蚀，以在硅衬底的顶面形成第一掩模图案，第一掩模图案包括多个第一掩模，每个第...
- 张学敏孙天玉付思齐俞挺王逸群张宝顺
- 文献传递
- 端面耦合器及其制作方法、端面耦合方法
- 本发明公开了一种端面耦合器及其制作方法，该制作方法包括：提供一光子芯片，在光子芯片的耦合端的上表面具有波导；在耦合端的上表面形成一层覆盖波导并与波导键合的衬底；在衬底表面涂布一层光刻胶层；通过分步曝光和显影，将光刻胶层制...
- 孙天玉王筱张宝顺
- 文献传递
- 微反射镜的制造方法
- 本发明提供一种微反射镜的制造方法，制造方法包括步骤：提供一(100)晶面的硅衬底；在硅衬底的顶面和底面分别生长一介质层；对硅衬底顶面的介质层进行刻蚀，以在硅衬底的顶面形成第一掩模图案，第一掩模图案包括多个第一掩模，每个第...
- 张学敏孙天玉付思齐俞挺王逸群张宝顺
- 文献传递
- 平行碳纳米管悬空粘附时临界槽口宽度的计算被引量：1
- 2011年
- 根据小形变时的简单梁理论,给出了由碳纳米管悬空部分粘附时的几何形貌来计算平行碳纳米管之间粘附力的理论模型,推导了平行碳纳米管之间粘附力的计算公式以及碳纳米管粘附到沟槽基底时与沟槽基底的粘附力计算公式。由于碳纳米管本身的尺度小,实验上无法直接测量出平行碳纳米管之间的粘附力。本研究给出的计算公式可以由扫描电子显微镜(SEM)下观测到的碳纳米管悬空部分粘附时的几何形貌计算出平行碳纳米管之间的粘附力。根据文献中给出的平行碳纳米管之间粘附力的理论计算结果,估算了不同间距的平行碳纳米管能够粘附在一起所需要的槽口宽度,以及碳纳米管恰好粘附到沟槽基底时不同槽口宽度和深度之间的对应关系。这些结果对制备用于测量平行碳纳米管之间粘附力的悬空结构提供了重要的参考价值。
- 班书宝陈秋月周庚侠孙天玉顾济华吴东岷
- 关键词：单壁碳纳米管粘附力
- 大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究被引量：1
- 2011年
- 基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料。为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微反射镜技术的动态掩膜微立体光刻系统,该系统的加工横向分辨率由系统的光学分辨率与树脂特性共同决定。当单层树脂固化厚度超过临界值时,系统的横向分辨率将降低。根据实验中测量光学系统的分辨率以及树脂的工作曲线,得到本系统的最高横向分辨率可以达到14μm。
- 周庚侠班书宝孙天玉顾济华吴东岷
- 关键词：分辨率
- 端面耦合器及其制作方法、端面耦合方法
- 本发明公开了一种端面耦合器及其制作方法，该制作方法包括：提供一光子芯片，在光子芯片的耦合端的上表面具有波导；在耦合端的上表面形成一层覆盖波导并与波导键合的衬底；在衬底表面涂布一层光刻胶层；通过分步曝光和显影，将光刻胶层制...
- 孙天玉王筱张宝顺
