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靳志伟

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院重庆绿色智能技术研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇酰亚胺
  • 6篇聚酰亚胺
  • 5篇亚胺
  • 3篇衍射
  • 3篇衍射透镜
  • 3篇透镜
  • 2篇叠印
  • 2篇亚胺化
  • 2篇凝胶体
  • 2篇微结构
  • 2篇无色
  • 2篇无色透明
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇面粗糙度
  • 2篇聚酰亚胺薄膜
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光波
  • 2篇光波导材料
  • 2篇二胺
  • 2篇反应离子

机构

  • 6篇中国科学院重...

作者

  • 6篇吴鹏
  • 6篇饶先花
  • 6篇杨正
  • 6篇靳志伟
  • 4篇尹韶云
  • 2篇杜春雷
  • 2篇史浩飞
  • 2篇李瑶琳

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2022
  • 3篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2016
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光被引量：1
2019年
为进一步提高聚酰亚胺薄膜光学器件的表面质量,提出了一种聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光方法,对其抛光原理和抛光实验进行了研究。利用光刻胶流体的低表面张力及流动特性,通过在聚酰亚胺薄膜表面涂覆光刻胶对其表面缺陷进行填补;结合聚酰亚胺与光刻胶的反应离子高各向异性等比刻蚀工艺,将光刻胶光滑平整表面高保真刻蚀转移至聚酰亚胺表面,从而实现聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光。实验结果表明:PV、RMS分别为1.347μm和340nm的粗糙表面,通过二次抛光其粗糙度可降低至75nm和13nm;PV、RMS分别为61nm和8nm的表面,其粗糙度可降低至9nm和1nm。该抛光方法能有效提高聚酰亚胺薄膜的表面光洁度,可为以聚酰亚胺薄膜为代表的高分子柔性光学器件的精密加工提供新的工艺思路。
杨正靳志伟靳志伟饶先花尹韶云饶先花
关键词：抛光聚酰亚胺光刻胶反应离子刻蚀
一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法
本发明公开一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法，解决现有聚酰亚胺加工方法制作成本较高、工作环境难以实现等问题。本发明的制备方法具体包括以下步骤：(1)在衬底模具表面涂覆聚酰亚胺前驱液，并低温烘烤至凝胶状态；(2)...
杨正吴鹏靳志伟饶先花尹韶云
文献传递
无色透明高性能低表面粗糙度的聚酰亚胺光学薄膜材料及其制备方法
本发明公开了无色透明高性能低表面粗糙度的聚酰亚胺光学薄膜材料及其制备方法，聚酰亚胺光学薄膜材料由含氟芳香族二胺和芳香二酐单体在摩尔比为0.98～1.02条件下缩聚反应形成聚酰胺酸溶液后，加入流平剂混合后经成膜、亚胺化制得...
饶先花靳志伟史浩飞杜春雷吴鹏杨正李瑶琳
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一种高厚度均匀性聚酰亚胺薄膜衍射透镜的制备方法
本发明涉及一种高厚度均匀性聚酰亚胺薄膜衍射透镜的制备方法。此方法通过制备抗蚀剂和刻蚀，控制抗蚀剂与聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀速率，解决现有聚酰亚胺薄膜衍射透镜常用制备方式中，受温度均匀性、溶剂挥发均匀性和环境振动等影响，...
杨正吴鹏靳志伟饶先花尹韶云
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一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法
本发明公开一种双面微结构聚酰亚胺薄膜光学器件的制备方法，解决现有聚酰亚胺加工方法制作成本较高、工作环境难以实现等问题。本发明的制备方法具体包括以下步骤：(1)在衬底模具表面涂覆聚酰亚胺前驱液，并低温烘烤至凝胶状态；(2)...
杨正吴鹏靳志伟饶先花尹韶云
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无色透明高性能低表面粗糙度的聚酰亚胺光学薄膜材料及其制备方法
本发明公开了无色透明高性能低表面粗糙度的聚酰亚胺光学薄膜材料及其制备方法，聚酰亚胺光学薄膜材料由含氟芳香族二胺和芳香二酐单体在摩尔比为0.98～1.02条件下缩聚反应形成聚酰胺酸溶液后，加入流平剂混合后经成膜、亚胺化制得...
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