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二氧化铪(HfO2)薄膜的自组装制备: 以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液，利用自组装单层膜技术，在OTS自组装单层膜的功能性基团表面制备品态二氧化铪薄膜。研究了HfO2前驱液的浓度，退火温度和有机硅烷单分子层等对HfO2薄膜制备...; 贺中亮谈国强苗鸿雁刘剑夏傲梁东; 关键词：表面形貌微观结构

二氧化铪(HfO_2)薄膜的自组装制备: 2009年; 以Hf(SO4)2.4H2O和HCl配制HfO2前驱液,利用自组装单层膜技术,在OTS自组装单层膜的功能性基团表面制备晶态二氧化铪薄膜。研究了HfO2前驱液的浓度,退火温度和有机硅烷单分子层等对HfO2薄膜制备的影响。通过接触角测量仪,XRD和SEM等表征手段,对薄膜表面形貌、微观结构、物相组成进行分析。结果表明:基板在OTS溶液中浸泡为20min时,有机层表面接触角最大为(110±2)°。利用自组装单层法成功制备出HfO2晶态薄膜,HfO2呈立方型,无其他杂相。膜层表面致密均一,生长良好。; 贺中亮谈国强苗鸿雁刘剑夏傲梁东; 关键词：HFO2

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梁东