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史晓磊

作品数：1 被引量：11H指数：1
供职机构：清华大学研究院更多>>
发文基金：深圳市水务发展中长期战略研究项目创新研究群体科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇原子
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇LED

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇深圳大学
  • 1篇清华大学研究...

作者

  • 1篇邹春莉
  • 1篇汤皎宁
  • 1篇周艳
  • 1篇潘国顺
  • 1篇龚桦
  • 1篇史晓磊

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
LED蓝宝石衬底抛光表面原子台阶形貌及其周期性研究被引量：11
2017年
LED蓝宝石衬底的表面质量会极大影响到后续外延质量,进而影响到LED器件性能。蓝宝石研磨片经Al2O3磨粒粗抛液、SiO2磨粒精抛液下进行化学机械抛光(CMP),最终表面经原子力显微镜(AFM)所测表面粗糙度达到0.101nm,获得亚纳米级粗糙度超光滑表面,并呈现出原子台阶形貌。同时,通过使用Zygo表面形貌仪、AFM观察蓝宝石从研磨片经Al2O3粗抛液、SiO2精抛液抛光后的表面变化,阐述蓝宝石表面原子台阶形貌的形成原因,提出蓝宝石原子级超光滑表面形成的CMP去除机理。通过控制蓝宝石抛光中的工艺条件,获得a-a型、a-b型两种不同周期规律性的台阶形貌表面,并探讨不同周期规律性台阶形貌的形成机理。
周艳潘国顺史晓磊龚桦邹春莉汤皎宁
关键词：化学机械抛光蓝宝石
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共1页<1>
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