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黎晓林

作品数：5 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇加速度
  • 4篇加速度计
  • 2篇三明治
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电路
  • 1篇调制
  • 1篇噪声
  • 1篇阵列
  • 1篇数字电路
  • 1篇速度传感器
  • 1篇品质因数
  • 1篇品质因子
  • 1篇微加速度计
  • 1篇吸气剂
  • 1篇现场可编程
  • 1篇现场可编程门...
  • 1篇量化噪声
  • 1篇门阵列

机构

  • 5篇中国科学院
  • 3篇中国科学院研...
  • 2篇中国科学院大...

作者

  • 5篇车录锋
  • 5篇黎晓林
  • 3篇周晓峰
  • 3篇吴健
  • 2篇林友玲
  • 2篇蔡梅妮
  • 1篇苏荣涛
  • 1篇王跃林
  • 1篇孙腾
  • 1篇李洋
  • 1篇李刚

传媒

  • 4篇传感器与微系...
  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于数字电路的二阶Σ-Δ调制微加速度计被引量：2
2015年
为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ接口电路基础上,将基于运算放大器的比例放大、微分、积分电路使用现场可编程门阵列(FPGA)进行实现。使用分立元件搭建了PCB板级电路,实现了采样频率为50 k Hz的二阶Σ-Δ闭环调制接口电路。测试结果表明:该加速度计灵敏度为1.4 V/gn,系统基带内闭环噪声密度小于400μgn/Hz1/2。
李洋黎晓林吴健周晓峰车录锋
关键词：数字电路微加速度计现场可编程门阵列
传感器Q值对加速度计量化噪声的影响
2013年
高品质因数(Q)的加速度计因其具有较低的机械热噪声而适合高性能的振动检测,但Q值过高会带来接口电路的不稳定。为了充分利用传感器的特性优化Sigma-Delta(∑Δ)数字接口电路设计,通过分析加速度计的数字接口电路模型,验证了Q值的变化对数字量化噪声的影响,并且适当的Q值能降低数字接口电路基带内的量化噪声。设计和测试了基于三明治加速度计的PCB板级电路,测试结果表明:传感器的高Q特性会在基带引入一对共轭零点,抑制了基带内的量化噪声。
李刚车录锋黎晓林王跃林
关键词：加速度计Q值量化噪声
基于PID反馈的高Q值加速度计闭环检测电路被引量：4
2011年
高Q值加速度计由于能够很好地降低热机械布朗噪声,被广泛应用于高精度低噪声检测领域,相应的闭环接口电路却成为其应用的困难之一。通过分析传感器的器件结构和动态响应,提出了一种基于PID反馈的闭环检测电路来克服传感器因高Q值造成的不利影响,改善系统的频率特性和动态响应。根据设计原理设计和测试了基于PCB板级的闭环检测电路。电路的测试结果表明:该电路有效拓宽了可应用频带,增加了系统的线性度,并提高了系统的动态响应时间。
孙腾车录锋黎晓林吴健
关键词：高Q值加速度计
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作被引量：2
2012年
设计了一种可用于器件级真空封装的三明治电容式MEMS加速度传感器。该传感器被设计为四层硅结构,其中上下两层为固定电极,中间两层为硅—硅直接键合的双面梁—质量块结构的可动电极。利用自停止腐蚀工艺在中间质量块键合层上腐蚀出2个深入腔内的V型抽气槽,使得MEMS器件在后续的封装中能够实现内部真空。为防止V型抽气槽在划片中被水或硅渣堵塞,采用双面划片工艺。划片后,器件的总尺寸为6.8 mm×5.6 mm×1.72 mm,其中,敏感质量块尺寸为3.2 mm×3.2 mm×0.86 mm,检测电容间隙2.1μm。对器件级真空封装后的MEMS加速度传感器进行了初步测试,结果表明:制作的传感器的谐振频率为861 Hz,品质因数Q为76,灵敏度为1.53V/gn,C-V特性正常,氦气细漏<1×10-9atm-cm3/s,粗漏无气泡。
蔡梅妮林友玲车录锋苏荣涛周晓峰黎晓林
关键词：品质因数
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
2012年
为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度传感器的器件级真空封装工艺进行了研究。这种器件级真空封装方法采用可编程高真空封装设备和MEMS工业中常用的材料、工艺,可适用于不同尺寸或布局的MEMS芯片。利用该封装方法,对一种采用自停止腐蚀工艺在中间质量块键合层上制作出2个对称"V"型槽的三明治式电容加速度计进行了真空封装,并对封装后的器件进行性能测试。结果表明,该加速度计在有吸气剂的情况下,品质因子(Q)可达到76,理论热机械噪声为0.026μg/槡Hz,腔体内部压强小于13 Pa,He气细漏检测漏率低于3×10-10Pa.m3/s,氟油粗漏无气泡,满足地震监测要求。
蔡梅妮车录锋林友玲周晓峰黎晓林吴健
关键词：吸气剂品质因子
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