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吴健

作品数：3 被引量：6H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇加速度
  • 3篇加速度计
  • 1篇电路
  • 1篇调制
  • 1篇阵列
  • 1篇三明治
  • 1篇数字电路
  • 1篇品质因子
  • 1篇微加速度计
  • 1篇吸气剂
  • 1篇现场可编程
  • 1篇现场可编程门...
  • 1篇门阵列
  • 1篇可编程门阵列
  • 1篇高Q值
  • 1篇Δ调制
  • 1篇Σ-Δ调制
  • 1篇MEMS加速...

机构

  • 3篇中国科学院
  • 2篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 3篇车录锋
  • 3篇黎晓林
  • 3篇吴健
  • 2篇周晓峰
  • 1篇林友玲
  • 1篇孙腾
  • 1篇蔡梅妮
  • 1篇李洋

传媒

  • 2篇传感器与微系...
  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于数字电路的二阶Σ-Δ调制微加速度计被引量：2
2015年
为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ接口电路基础上,将基于运算放大器的比例放大、微分、积分电路使用现场可编程门阵列(FPGA)进行实现。使用分立元件搭建了PCB板级电路,实现了采样频率为50 k Hz的二阶Σ-Δ闭环调制接口电路。测试结果表明:该加速度计灵敏度为1.4 V/gn,系统基带内闭环噪声密度小于400μgn/Hz1/2。
李洋黎晓林吴健周晓峰车录锋
关键词：数字电路微加速度计现场可编程门阵列
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
2012年
为了降低微电子机械系统(MEMS)加速度器件的热机械噪声,提高信噪比,使之能应用于石油勘探和地震监测中,对一种三明治式电容加速度传感器的器件级真空封装工艺进行了研究。这种器件级真空封装方法采用可编程高真空封装设备和MEMS工业中常用的材料、工艺,可适用于不同尺寸或布局的MEMS芯片。利用该封装方法,对一种采用自停止腐蚀工艺在中间质量块键合层上制作出2个对称"V"型槽的三明治式电容加速度计进行了真空封装,并对封装后的器件进行性能测试。结果表明,该加速度计在有吸气剂的情况下,品质因子(Q)可达到76,理论热机械噪声为0.026μg/槡Hz,腔体内部压强小于13 Pa,He气细漏检测漏率低于3×10-10Pa.m3/s,氟油粗漏无气泡,满足地震监测要求。
蔡梅妮车录锋林友玲周晓峰黎晓林吴健
关键词：吸气剂品质因子
基于PID反馈的高Q值加速度计闭环检测电路被引量：4
2011年
高Q值加速度计由于能够很好地降低热机械布朗噪声,被广泛应用于高精度低噪声检测领域,相应的闭环接口电路却成为其应用的困难之一。通过分析传感器的器件结构和动态响应,提出了一种基于PID反馈的闭环检测电路来克服传感器因高Q值造成的不利影响,改善系统的频率特性和动态响应。根据设计原理设计和测试了基于PCB板级的闭环检测电路。电路的测试结果表明:该电路有效拓宽了可应用频带,增加了系统的线性度,并提高了系统的动态响应时间。
孙腾车录锋黎晓林吴健
关键词：高Q值加速度计
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