您的位置： 专家智库 > >

王海云

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：安徽建筑大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇水射流
  • 1篇体硅
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体硅
  • 1篇刻蚀
  • 1篇激光
  • 1篇激光刻蚀
  • 1篇光刻
  • 1篇硅晶
  • 1篇硅晶体

机构

  • 1篇南京理工大学
  • 1篇安徽建筑大学

作者

  • 1篇袁根福
  • 1篇陈雪辉
  • 1篇王海云
  • 1篇张程

传媒

  • 1篇应用激光

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
水射流对于激光刻蚀晶体硅影响的试验研究被引量：1
2014年
对比研究硅晶体激光直接刻蚀与水射流辅助激光复合刻蚀表面形貌,发现水射流与激光复合刻蚀能够有效去除重铸层并减少裂纹缺陷。研究了水射流流量对刻蚀微观形貌及刻槽深度的影响,结果表明,适当提高水射流的流速有利于改善刻蚀槽体的质量,同时水射流流速在一定程度上会影响到槽体深度,使槽体深度随着流速的提高出现先降后升的规律。最后对水射流的入射角与槽体截面形状关系进行了初步探讨性研究。
张崇天袁根福陈雪辉张程王海云
关键词：水射流硅晶体
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0