张程
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 供职机构：安徽建筑大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程更多>>
- 低压水射流辅助激光刻蚀加工多晶硅工艺参数的优化被引量：1
- 2016年
- 利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面质量的影响,得到了最终优化工艺参数。结果表明:最终优化工艺参数为低压水射流速度24m·s^(-1)、激光脉宽1.1ms、频率40Hz、电流180A,此时槽体截面锥度、表面粗糙度、截面深度分别为1.2°,2.63μm,1.88mm,槽体表面质量较好,边缘无开裂、无熔渣、无重铸层等缺陷。
- 陈雪辉张相炎张崇天袁根福张程
- 关键词：多晶硅
- 水射流对于激光刻蚀晶体硅影响的试验研究被引量：1
- 2014年
- 对比研究硅晶体激光直接刻蚀与水射流辅助激光复合刻蚀表面形貌,发现水射流与激光复合刻蚀能够有效去除重铸层并减少裂纹缺陷。研究了水射流流量对刻蚀微观形貌及刻槽深度的影响,结果表明,适当提高水射流的流速有利于改善刻蚀槽体的质量,同时水射流流速在一定程度上会影响到槽体深度,使槽体深度随着流速的提高出现先降后升的规律。最后对水射流的入射角与槽体截面形状关系进行了初步探讨性研究。
- 张崇天袁根福陈雪辉张程王海云
- 关键词：水射流硅晶体
- 低压射流激光烧蚀复合加工能量损失率的研究被引量：3
- 2014年
- 利用低压水射流辅助激光加工的方法对多晶硅进行试验加工,测量了无水情况下以及不同射流速率下的盲孔体积,对比研究了不同射流速率下能量损失率的变化规律,并分析了变化的原因。研究表明,射流速率对激光烧蚀的能量损失率有一定影响;当速率增加到一定程度时,射流的冲蚀作用去除了熔渣以及重铸层,从而使激光与材料充分接触,提高了激光能量的有效利用,增加了盲孔烧蚀量。
- 张程陈雪辉袁根福
- 关键词：激光烧蚀
