刘雪华
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- AlN:Er薄膜在不同退火温度下应力诱导的微观结构演变被引量：3
- 2016年
- 以透射电镜中的弱束衍衬成像和高分辨相位衬度成像为主要表征手段,辅以X射线衍射、拉曼光谱等测试方法,对Al N:Er样品在退火过程中的微观结构演变过程进行了深入分析。在透射电镜观察下,Er离子注入的Al N样品在退火前存在三个区域:区域Ⅰ为自表面以下约30 nm深度;区域Ⅱ为区域I以下约50 nm深度;区域Ⅲ为区域Ⅱ以下的部分,其中区域Ⅱ为损伤最为严重的区域。在较低的温度(如1025℃时)退火后,区域Ⅰ消失;但1200℃退火后,又重新可以观察到区域Ⅰ。结合TEM、XRD和Raman测试结果,从损伤恢复和应力释放的角度对上述实验现象进行了理论解释:由于Er离子半径和基体原子半径的差异,在区域Ⅱ中引入较大的应力;在1025℃退火时,来自区域Ⅱ的应力作用于区域Ⅰ,导致区域I发生大的晶格扭曲,和区域II合并,用TEM观察不到;在1200℃退火时,应力在表面释放,区域I的晶格扭曲修复,从而用TEM可重新观察到。
- 阳明明莫亚娟王晓丹曾雄辉刘雪华黄俊张纪才王建峰徐科
- 关键词：离子注入
- 用于加工透射电镜样品对象的压合对粘装置及其方法
- 本发明提供了一种用于加工透射电镜样品对象的压合对粘装置，其包括：置物台、压杆、若干压块；其中，所述置物台上开设有样品腔，所述样品腔底面用于放置待压合的样品对象；所述压杆底端穿过开设于所述置物台上的第一通孔、并可与放置于所...
- 刘雪华牛牧童叶斌斌孙茂松王伟张锦平徐科
- 文献传递
