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文路

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：武汉工程大学化工与制药学院绿色化工过程省部共建教育部重点实验室更多>>
发文基金：教育部重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇硫酸
  • 1篇化学清洗
  • 1篇硅基
  • 1篇过氧化氢
  • 1篇表面形貌

机构

  • 1篇华中科技大学
  • 1篇武汉工程大学

作者

  • 1篇刘善堂
  • 1篇刘宏芳
  • 1篇毛强强
  • 1篇文路

传媒

  • 1篇武汉工程大学...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅基表面无形貌改变的硫酸/过氧化氢氧化清洗被引量：7
2009年
提出了一种利用硫酸/过氧化氢溶液氧化清洗硅基的方法.硅片经超声预清洗后,放入硫酸/过氧化氢溶液中,80℃下氧化清洗其表面的污染物.通过接触角检测,表征了清洗前后硅基表面的亲水性变化.通过原子力显微镜(AFM)表征了经硫酸/过氧化氢溶液清洗后硅基的表面形貌.结果显示,经硫酸/过氧化氢溶液亲水化清洗30 min后的硅基表面的接触角为7.3°,显示出很强的亲水性,其表面均方根粗糙度(RMS)仅为0.03 nm.因此,硫酸/过氧化氢氧化清洗法是一种硅基表面无形貌改变的亲水化清洗方法.
毛强强文路刘宏芳刘善堂
关键词：硅基化学清洗表面形貌
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共1页<1>
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