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文路
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
武汉工程大学化工与制药学院绿色化工过程省部共建教育部重点实验室
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发文基金:
教育部重点实验室开放基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
毛强强
武汉工程大学化工与制药学院绿色...
刘宏芳
华中科技大学化学与化工学院材料...
刘善堂
武汉工程大学化工与制药学院绿色...
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硫酸
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文路
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武汉工程大学...
年份
1篇
2009
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硅基表面无形貌改变的硫酸/过氧化氢氧化清洗
被引量:7
2009年
提出了一种利用硫酸/过氧化氢溶液氧化清洗硅基的方法.硅片经超声预清洗后,放入硫酸/过氧化氢溶液中,80℃下氧化清洗其表面的污染物.通过接触角检测,表征了清洗前后硅基表面的亲水性变化.通过原子力显微镜(AFM)表征了经硫酸/过氧化氢溶液清洗后硅基的表面形貌.结果显示,经硫酸/过氧化氢溶液亲水化清洗30 min后的硅基表面的接触角为7.3°,显示出很强的亲水性,其表面均方根粗糙度(RMS)仅为0.03 nm.因此,硫酸/过氧化氢氧化清洗法是一种硅基表面无形貌改变的亲水化清洗方法.
毛强强
文路
刘宏芳
刘善堂
关键词:
硅基
化学清洗
表面形貌
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