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刘海军

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电偶
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇陶瓷
  • 1篇陶瓷基
  • 1篇热电偶
  • 1篇溅射
  • 1篇薄膜热电偶
  • 1篇SEEBEC...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇张万里
  • 1篇赵晓辉
  • 1篇吴勐
  • 1篇蒋洪川
  • 1篇蒋书文
  • 1篇刘海军

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
陶瓷基Pt/ITO薄膜热电偶的制备与性能研究被引量：9
2015年
为了准确测量涡轮叶片表面温度,采用掩模图形化和射频磁控溅射的方法,在Al2O3陶瓷基片上沉积Pt/ITO薄膜热电偶,并对其进行了静态标定。结果表明：Pt/ITO薄膜热电偶在1 000℃进行大气气氛退火,随着退火时间的增加,样品热电势输出曲线稳定性逐渐增强,Seebeck系数也较大,标定曲线均具有很好的线性度,退火5h的样品的最大测温误差仅为16.03℃,可在400~1100℃温度范围热循环中稳定工作约20h。ITO薄膜厚度对Pt/ITO薄膜热电偶热电性能几乎没有影响。
刘海军蒋洪川吴勐赵晓辉蒋书文张万里
关键词：射频磁控溅射SEEBECK系数
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