李凡星
- 作品数：33 被引量：16H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：四川省科技计划项目国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术文化科学更多>>
- 一种集成照明调制和瞳孔调制的定量差分相衬显微镜
- 本发明公开了一种集成照明调制和瞳孔调制的定量差分相衬显微镜，可选择照明调制和瞳孔调制两种成像模式。选择照明调制时，采用1/2环形彩色复用照明，采集1幅彩色图像，通过颜色补偿后计算上、下、左、右4幅半环形照明图像，并计算2...
- 蒋吉鑫李凡星严伟余斯洋杨帆杨聚圃杜佳林王思沫孙思刘吉潇李京宸邓蔓聂娟
- 一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统
- 本发明公开了一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统，三维工件台控制结构由X轴电机(1)、X轴光栅尺(4)、X轴限位开关(7)、Y轴电机(2)、Y轴光栅尺(5)、Y轴限位开关(8)、Z轴电机(3)、Z轴光栅尺(6)和Z轴限...
- 田鹏杜津杨杰杨帆严伟胡松周毅李凡星姚靖威邓钦元
- 一种激光双光束干涉光刻系统
- 本发明公开一种激光双光束干涉光刻系统，结合激光场调制技术，通过一次曝光或者多次曝光实现大面积、多样化周期结构和复杂结构的快速纳米尺度的加工。该系统包括：利用数字微镜元件实现光线选通，空间光调制器或者变形镜调制一路入射光相...
- 严伟高洪涛田鹏李凡星彭伏平刘俊伯何渝杨帆吴云飞
- 文献传递
- 一种基于相位纵向拼接的宽光谱干涉形貌检测方法
- 本发明是一种基于相位纵向拼接的宽光谱干涉形貌检测方法，利用Mirau型白光干涉系统，通过压电陶瓷精密移动台控制干涉物镜纵向扫描移动，将采集得到的一系列宽光谱干涉图进行保存。通过频域和时域算法，将所采集到的干涉图像进行计算...
- 周毅唐燕陈楚仪邓钦元谢仲业田鹏李凡星胡松赵立新
- 文献传递
- 一种单筒光场显微镜
- 本发明公开了一种单筒光场显微镜，用于对标本单次曝光后，进行重聚焦成像以及三维成像。本发明的单筒光场显微采用远场校正物镜，在一次像面出插入微透镜阵列与CMOS成像器件组合成光场传感器，对光场进行采集。通过一次曝光采集、记录...
- 杨帆严伟田鹏李凡星彭伏平周毅邓钦元邓茜
- 文献传递
- 一种三点构面定轴的旋转角度测量方法
- 本发明公开了一种三点构面定轴的旋转角度测量方法，在平面转轴不确定的情况下，常规测量平面旋转角度的方式难以直接精确测出平面旋转角度，而现存的未知轴测量方法精度不够高，过程较为繁琐。本发明使用三个高精度位移传感器，测量出旋转...
- 李凡星田鹏杨帆严伟彭伏平
- 基于深度学习的数字光刻自动检焦方法
- 2022年
- 目前基于数字微镜器件的无掩膜光刻系统离不开高精度的检焦系统,单独设计的检焦系统不仅会增加全系统结构的复杂度,还会增加装调的难度。因此提出一种基于深度学习的检焦方法,通过调节光路使曝光焦面和相机成像焦面重合,仅根据当前所成的图像即可实现焦平面的快速自动检测。该算法由粗检焦和精检焦两步组成,粗检焦利用深度学习模型对相机记录的图像进行分类,仅需90 ms就可判断当前基片的离焦区间;精检焦利用清晰度评价函数计算图像清晰度值,结合搜索算法即可在粗检焦的基础上准确找到焦平面。用5倍聚焦物镜进行实验,在(-40μm,40μm)的离焦区间内,检焦精度可达2μm,总用时不超过300 ms。仿真分析和实验验证结果表明,该方法具有结构复杂度低、检焦速度快、检焦精度高等优点,能够很好地应用于数字光刻领域。
- 杨聚圃杜佳林李凡星谌庆荣王思沫严伟
- 关键词：数字光刻自动检焦图像处理
- 一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统
- 本发明公开了一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统，三维工件台控制结构由X轴电机(1)、X轴光栅尺(4)、X轴限位开关(7)、Y轴电机(2)、Y轴光栅尺(5)、Y轴限位开关(8)、Z轴电机(3)、Z轴光栅尺(6)和Z轴限...
- 田鹏杜津杨杰杨帆严伟胡松周毅李凡星姚靖威邓钦元
- 文献传递
- 一种轻量化单体式成像的接触网安全巡检仪
- 本明公开了一种轻量化单体式成像的接触网安全巡检仪，包括图像采集单元、图像处理单元、图像存储单元、图像数据显示单元、供电单元、外设辅助单元和无线触控单元。所述图像采集单元用于接触网图像采集；所述图像处理单元负责对图像采集单...
- 王健杨聚圃刘吉潇刘学智蒋吉鑫王思沫邓蔓李京宸孙思杨帆余斯洋李凡星黄无双
- 基于二元光学透镜光谱聚焦特性的微间距测量被引量：6
- 2020年
- 针对传统色散透镜的色散线性度很难保证为绝对线性,测量范围很窄的问题,且为了尽量减小球差尤其是对测量影响最大的轴向球差,提出一种将二元光学透镜引入到光谱共聚焦微小间距测量的方法。该方法中二元光学透镜的色散只与入射光的波长有关,且严格与入射光的波长成反比。二元光学透镜不存在球差问题且可以补偿校正测量系统中其他光学组件的未知色差。实验中选择510~690nm范围内的光谱,利用分辨率为0.5nm的光谱仪接收光谱信息,测得该方法的测量量程为13.95mm,测量误差为0.6μm,并通过对光盘上的刻录间距进行测量,验证了该方法的有效性。
- 王思沫李凡星彭伏平杜佳林严伟
- 关键词：光谱共聚焦测距
