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田鹏

作品数：23 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇理学
  • 2篇文化科学
  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇调制度
  • 4篇条纹
  • 4篇图像
  • 4篇全息
  • 4篇转轴
  • 4篇光刻
  • 4篇干涉条纹
  • 4篇干涉图
  • 4篇干涉图像
  • 4篇测量方法
  • 3篇电机
  • 3篇双光束
  • 3篇空间角
  • 3篇工件台
  • 3篇光束
  • 3篇光栅尺
  • 3篇白光干涉

机构

  • 23篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 23篇田鹏
  • 20篇李凡星
  • 16篇杨帆
  • 14篇严伟
  • 12篇胡松
  • 10篇邓钦元
  • 10篇周毅
  • 7篇赵立新
  • 6篇唐燕
  • 3篇杨杰
  • 2篇何渝
  • 2篇刘俊伯
  • 2篇邓茜
  • 2篇杜婧
  • 1篇高洪涛

传媒

  • 1篇光电工程

年份

  • 2篇2020
  • 4篇2019
  • 4篇2018
  • 12篇2017
  • 1篇2016
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统
本发明公开了一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统，三维工件台控制结构由X轴电机(1)、X轴光栅尺(4)、X轴限位开关(7)、Y轴电机(2)、Y轴光栅尺(5)、Y轴限位开关(8)、Z轴电机(3)、Z轴光栅尺(6)和Z轴限...
田鹏杜津杨杰杨帆严伟胡松周毅李凡星姚靖威邓钦元
文献传递
一种基于SiO<Sub>2</Sub>介质微球的超分辨成像方法
本发明公开了一种基于SiO<Sub>2</Sub>介质微球的超分辨成像方法，利用可见光宽光谱照明，通过匀胶机旋转将SiO<Sub>2</Sub>介质微球放置于待测结构表面，在常规成像显微镜下观察特征尺寸低于半波长的结构细...
周毅唐燕陈楚怡邓钦元谢仲业田鹏李凡星胡松赵立新
文献传递
一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统
本发明公开了一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统，三维工件台控制结构由X轴电机(1)、X轴光栅尺(4)、X轴限位开关(7)、Y轴电机(2)、Y轴光栅尺(5)、Y轴限位开关(8)、Z轴电机(3)、Z轴光栅尺(6)和Z轴限...
田鹏杜津杨杰杨帆严伟胡松周毅李凡星姚靖威邓钦元
一种集成偏振光栅制备系统及方法
本发明公开一种集成偏振光栅制备系统及方法，利用激光双光束干涉原理，结合空间光场调制技术，通过一次曝光或多次曝光实现大面积集成化偏振光栅的快速纳米尺度加工。其方法包括：利用数字微镜元件实现光线的选通，并同时实现对一路光(调...
彭伏平杨帆李凡星田鹏严伟
一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法
本发明是一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法，利用Mirau型白光干涉光学系统，通过压电陶瓷移动台精密控制干涉物镜纵向扫描移动，将采集得到的一系列白光显微干涉图进行保存。首先，将所采集到的干涉灰度图转换为光强图...
周毅唐燕陈楚仪邓钦元谢仲业田鹏李凡星胡松赵立新
一种激光双光束干涉光刻系统
本发明公开一种激光双光束干涉光刻系统，结合激光场调制技术，通过一次曝光或者多次曝光实现大面积、多样化周期结构和复杂结构的快速纳米尺度的加工。该系统包括：利用数字微镜元件实现光线选通，空间光调制器或者变形镜调制一路入射光相...
严伟高洪涛田鹏李凡星彭伏平刘俊伯何渝杨帆吴云飞
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一种基于空心杯电机的数字舵机
本发明公开了一种基于空心杯电机的数字舵机，属于遥控模型动力器件领域，包括其中控制电路板(6)及其伺服控制算法模块，采用空心杯电机作为动力，优化控制算法，在转速和转矩上有显著提高。控制电路板(6)采集到旋转电位计(7)测得...
杨帆严伟田鹏李凡星彭伏平
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一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统
本发明公开了一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统，由光源(1)经准直透镜组(2)成为平行光束，通过分光棱镜(3)后被分成两束互相垂直的光束。其中一束光直接照射到试样(4)上，反射光被分光棱镜反射到成像物镜(7)上。...
姚靖威唐燕邓茜周毅邓钦元刘俊伯田鹏杨帆赵立新胡松
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一种基于相位纵向拼接的宽光谱干涉形貌检测方法
本发明是一种基于相位纵向拼接的宽光谱干涉形貌检测方法，利用Mirau型白光干涉系统，通过压电陶瓷精密移动台控制干涉物镜纵向扫描移动，将采集得到的一系列宽光谱干涉图进行保存。通过频域和时域算法，将所采集到的干涉图像进行计算...
周毅唐燕陈楚仪邓钦元谢仲业田鹏李凡星胡松赵立新
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一种单筒光场显微镜
本发明公开了一种单筒光场显微镜，用于对标本单次曝光后，进行重聚焦成像以及三维成像。本发明的单筒光场显微采用远场校正物镜，在一次像面出插入微透镜阵列与CMOS成像器件组合成光场传感器，对光场进行采集。通过一次曝光采集、记录...
杨帆严伟田鹏李凡星彭伏平周毅邓钦元邓茜
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