吴骁
- 作品数：10 被引量：12H指数：2
- 供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：湖北省教育厅科学技术研究项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术电子电信更多>>
- MPCVD制备大面积自支撑金刚石膜研究进展被引量：2
- 2016年
- 金刚石膜因其优异的物理化学性质备受关注,而大面积自支撑金刚石膜因其结构完整性在各大领域的应用范围更胜一筹。综述了大面积自支撑金刚石膜的、研究进展和影响其沉积均匀性和沉积速率的因素。表明微波频率越高,沉积速率越快;而气体流速对沉积速率的影响呈现先增大后减少的趋势;基片台的设计对金刚石的均匀性至关重要;辅助气体对金刚石膜的影响与添加的气体种类有关,微量N_2、O_2的加入可以提高沉积速率。最后对大面积自支撑金刚石在红外窗口的应用进行展望。
- 刘辉汪建华翁俊陈义吴骁
- 关键词：金刚石膜自支撑均匀性沉积速率
- 不同CO_2流量对CVD金刚石膜生长的影响研究被引量：1
- 2016年
- 采用微波等离子体化学气相沉积法，以CH4-CO2为气源，通过改变CO2的流量，探讨了此气源下金刚石膜的生长情况。利用扫描电子显微镜对制备的金刚石膜表面形貌和断面进行了表征，采用Raman和X射线衍射仪对金刚石膜的质量和晶体结构进行分析。结果表明，CH4流量为50mL/min时，CO2流量在20～40mL/min范围内可以沉积出完整的金刚石膜，CO2的流量对金刚石膜的表面形貌影响较大，在CO2/CH4=30∶50条件下，沉积速率可达到3.4μm/h，同时可以制备出高质量的金刚石膜。
- 吴骁汪建华翁俊孙祁陈义刘辉刘繁
- 关键词：CO2MPCVDCVD金刚石膜
- 金刚石纳米线的制备方法及研究进展被引量：1
- 2017年
- 金刚石纳米线是一种宽禁带的半导体材料,理论研究表明金刚石纳米线具有优异的物理化学性能,如负的电子亲和势、良好的化学惰性、高的杨氏模量和极高的硬度以及室温下高的热导率。这些优异的性能让研究者产生了浓厚的兴趣,并促进了金刚石纳米线合成方法的发展。其中包括离子反应刻蚀、碳纳米管的等离子后处理、高温高压法、模板或催化剂辅助CVD法。综述了金刚石纳米线的主要制备方法有反应离子刻蚀法和化学气相沉积法以及目前金刚石纳米线的研究进展。
- 吴骁汪建华翁俊何硕
- 一种水冷式三螺钉调配器
- 本实用新型涉及一种水冷式三螺钉调配器，包括：三个销钉调节系统，并排设置在矩形波导上；销钉调节系统包括：扼流结构、介质块、调节螺母、销钉、轴承及冷却水管组；扼流结构与矩形波导固定连接；介质块设置在扼流结构中的扼流槽内；销钉...
- 刘辉汪建华翁俊吴骁陈义
- 文献传递
- 碳氧比对金刚石薄膜生长的影响被引量：1
- 2016年
- 采用微波等离子体化学气相沉积法,以H_2/CH_4/CO_2为混合气源,通过改变气源碳氧比,探讨了碳氧比对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱表征金刚石薄膜的表面形貌、晶粒取向和结晶质量。结果表明,随着C/O比的降低,金刚石膜表面形貌由原来的(100)面为主转向(111)面为主的金字塔形,薄膜质量有所提高,内应力降低。
- 陈义汪建华翁俊孙祁吴骁刘辉刘繁
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积CO2金刚石膜
- 在微波等离子体中采用CO2-CH4反应体系制备金刚石膜的研究
- 化学气相沉积（Chemical vapor deposition,CVD）金刚石膜优异的物理化学性能使其在高新技术领域具有广阔的应用前景。目前，对于高质量金刚石膜的研究主要是利用微波等离子体化学气相沉积（Microwav...
- 吴骁
- 关键词：金刚石膜化学气相沉积微波等离子体沉积速率
- 形核密度与氢等离子体处理对沉积CVD金刚石薄膜的影响被引量：1
- 2016年
- 本实验利用2kW微波等离子体化学气相沉积(CVD)设备,系统探究了不同形核密度和氢等离子体处理对CVD金刚石膜沉积的影响。利用扫描电镜、X射线衍射和Raman光谱对样品的形貌、结构和质量进行了表征,结果表明:形核密度越低,金刚石膜的晶粒尺寸越大,且随着时间的延长,较低形核密度和高形核密度下沉积的金刚石膜能分别获得<110>取向和<111>。当给予合适的生长环境,不同形核密度下沉积的金刚石膜均能获得较高的质量。因此,金刚石厚膜的沉积,可以考虑在低形核密度的环境下进行。另外,在相对较低的基片温度和腔体气压下进行氢等离子体处理,可以在保证金刚石膜表面CHx含量变化不大的情况下,充分减少金刚石膜表面或亚表面的非金刚石相,进一步地提高金刚石膜的质量。
- 翁俊刘繁孙祁王小安黄平周璐吴骁汪建华
- 关键词：金刚石膜氢等离子体微波等离子体化学气相沉积
- 低温沉积金刚石薄膜的研究被引量：3
- 2016年
- 利用微波等离子体化学气相沉积法,以甲烷、氢气和氩气作为工作气体,在较低的沉积温度下,沉积得到了连续的金刚石薄膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪分别对金刚石薄膜的表面形貌、生长结构以及沉积质量进行了表征。实验结果表明,氩气的引入虽然可以有效的降低获得金刚石薄膜所需的基片温度,但为了提高金刚石薄膜的质量,需要适当的提高微波功率。同时,当基片温度一定时,在CH4/H2/Ar体系和CH4/H2体系下均可获得表面形貌与生长结构相似的金刚石薄膜,且可能利用CH4/H2/Ar作为工作气体沉积金刚石薄膜所需要的微波功率更低。
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- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜
- 金刚石纳米线的制备方法及研究进展被引量：1
- 2017年
- 金刚石纳米线是一种宽禁带的半导体材料,理论研究表明金刚石纳米线具有优异的物理化学性能,如:负的电子亲和势,良好的化学惰性,高的杨氏模量和极高的硬度,以及室温下高的热导率。这些理论研究促使实验有了重要可行的发展目标,通过大量的努力研究,合成金刚石纳米线的方法已经得到了很大的发展,包括离子反应刻蚀、碳纳米管的等离子后处理、高温高压法、模板或催化剂辅助CVD法。本文综述了金刚石纳米线目前的主流制备方法:反应离子刻蚀法和化学气相沉积法,以及金刚石纳米线的应用和研究进展。
- 吴骁汪建华翁俊翁俊刘辉孙祁刘辉
- 二氧化碳对金刚石膜生长的影响被引量：2
- 2016年
- 利用微波等离子体化学气相沉积法,以H_2/CH_4/CO_2为混合气源,在Si基底上沉积金刚石膜,分析了微波功率和CO_2对金刚石膜生长的影响。利用Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征金刚石膜,以得到样品质量、表面形貌、晶粒取向等信息。结果表明:适当提高微波功率,可以促进金刚石晶粒长大并提高(100)取向度;加入适量CO_2,能提高金刚石膜质量和生长速率,并保持表面形貌不会发生明显变化,但随着CO_2含量的增加,金刚石表面形貌发生较大变化,薄膜质量和沉积速率先提高后降低。
- 陈义汪建华刘繁翁俊吴骁
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石膜
