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刘欣

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国人民解放军91550部队更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇体硅
  • 1篇体硅工艺
  • 1篇微机电系统
  • 1篇金属
  • 1篇金属腐蚀
  • 1篇机电系统
  • 1篇硅工艺
  • 1篇KOH
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 1篇郝一龙
  • 1篇刘勐
  • 1篇张威
  • 1篇刘欣

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
KOH湿法腐蚀中防金属腐蚀工艺研究
2012年
介绍了一种采用PROTEK材料作为保护层,在MEMS器件体硅湿法腐蚀加工工艺中保护金属电极的新工艺。采用这种新的工艺可以在MEMS体硅工艺传感器的加工过程中,完成所有IC工艺的加工后再进行MEMS体硅工艺的加工。实验结果表明:采用这种新的材料进行KOH腐蚀工艺的金属表面保护,既可以提高工艺加工效率,又可以提高工艺加工质量。该工艺可以广泛应用于MEMS体硅工艺中KOH湿法腐蚀的工艺加工,也可以应用于光电子器件的工艺加工。
刘勐刘欣张威郝一龙
关键词：微机电系统体硅工艺
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共1页<1>
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