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潘滔

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学软件与微电子学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇热电堆
  • 1篇快门
  • 1篇光源
  • 1篇红外
  • 1篇红外辐射
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光源
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 1篇孔延梅
  • 1篇王振宇
  • 1篇焦斌斌
  • 1篇叶雨欣
  • 1篇潘滔

传媒

  • 1篇江汉大学学报...

年份

  • 1篇2016
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排序方式：
基于MEMS热电堆器件测试的红外辐射激励设计
2016年
在微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)热电堆器件的测试中,如何给热电堆器件施加合理的周期性红外辐射激励是能否得到正确器件参数的关键。在开发适用于MEMS热电堆器件的晶圆级测试系统的过程中,提出了一种光学能量传输方案,该方案采用MEMS红外光源JSIR450替代了传统黑体炉作为红外辐射激励源,采用快门替代了光学斩波器对红外信号进行周期性调制。通过实验证明了该方案的有效性,且通过积分的方法证明了MEMS红外光源能量发射端的黑体发射率满足项目要求。
王振宇潘滔叶雨欣焦斌斌孔延梅
关键词：快门
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