王威
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：杭州电子科技大学电子信息学院微电子CAD研究所更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 静电梳齿结构横向间隙的边缘效应分析被引量：2
- 2010年
- 提出静电驱动梳齿结构横向静电力的边缘效应问题。通过对传统平行板电容器的静电力分析,着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应与静电力的影响,并与Ansoft有限元仿真结果对比。结果表明:当大间隙时,梳齿受到的边缘效应不明显,但较大电压时会出现静电力与电压平方的非线性现象;当小间隙时,平行板电容器模型公式不再适用,间隙值越小,电压越大时,耦合作用越明显,梳齿横向静电力越大,受到边缘效应的影响越大,横向静电力不再为恒定值。
- 许立董林玺王威
- 一种用于微谐振器频率调节的静电梳齿结构设计
- 2010年
- 针对微梳齿谐振器频率偏移的问题,提出了一种用于微谐振器频率调节的曲线形状静电梳齿结构。通过对梳齿简单模型的静电力分析,得出其静电力-位移特性,其斜率就是静电弹性系数;然后从谐振频率出发,分析了影响谐振频率的因素。研究结果表明,对于梳齿式微谐振器,当调谐电压从0 V变化到80 V左右时,器件的有效弹性系数从2.64 N/m减小到1.23 N/m左右,且谐振频率从自然谐振频率18.9 kHz减小到13 kHz,降幅分别为53%和31%。实验结果表明,这种曲线梳齿"软化"了静电微谐振器或者微驱动器的系统弹性,能够有效地调节谐振频率。
- 许立董林玺王威
- 关键词：微谐振器
