2024年7月24日
星期三
|
欢迎来到青海省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
孟月冬
作品数:
1
被引量:11
H指数:1
供职机构:
中国科学院等离子体物理研究所
更多>>
发文基金:
中国民航大学科研基金
更多>>
相关领域:
理学
更多>>
合作作者
柴立全
中国民航大学理学院
刘峰
中国科学院等离子体物理研究所
任兆杏
中国科学院等离子体物理研究所
王娟
中国民航大学基础实验中心
李立
中国民航大学理学院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1篇
中文期刊文章
领域
1篇
理学
主题
1篇
射频磁控
1篇
射频磁控溅射
1篇
内应力
1篇
微结构
1篇
溅射
1篇
磁控
1篇
磁控溅射
机构
1篇
中国民航大学
1篇
中国科学院等...
作者
1篇
李立
1篇
王娟
1篇
任兆杏
1篇
刘峰
1篇
柴立全
1篇
孟月冬
传媒
1篇
中国民航学院...
年份
1篇
2006
共
1
条 记 录,以下是 1-1
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究
被引量:11
2006年
利用射频磁控溅射制备了Cr/CrN多层薄膜,并对比单层CrN薄膜,分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的关系。研究结果表明:多层膜中没有出现柱状晶体结构,而且结晶取向与单层CrN有显著区别;多层膜的应力普遍小于单层CrN,硬度略高于或接近于单层CrN,在外力作用下的抗变形能力远高于单层CrN;多层膜的应力和硬度随周期厚度的减小而增大,在周期15 nm时硬度值达到最大23.8 GPa,表明Cr/CrN多层膜的硬度与周期结果有关,而且存在使薄膜性能达到最佳的周期值。
李立
刘峰
柴立全
王娟
孟月冬
任兆杏
关键词:
射频磁控溅射
微结构
内应力
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张