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赵科新
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
谢琪
中国科学院半导体研究所
雷震霖
中国科学院半导体研究所
周岳亮
中国科学院物理研究所
金奎娟
中国科学院物理研究所
成步文
中国科学院半导体研究所
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第五届全国分...
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1篇
1999
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国产UHV/CVD系统及其生长SiGe/Si特性研究
余金中
于卓
成步文
李代宗
王启明
谢琪
雷震霖
赵科新
关键词:
UHV/CVD
SIGE/SI
Ⅱ型激光分子束外延设备及其应用研究
吕惠宾
陈正豪
杨国桢
缪风英
周岳亮
翟光杰
何萌
袁懋森
金奎娟
程波林
赵科新
赵崇良
李重茂
王逶迤
冯稷
激光分子束外延是二十世纪九十年代才出现的一种新型高精密制膜技术,是探索开发新材料、新器件和进行相关基础研究的一个平台。由物理所牵头与沈阳科仪中心合作,研制成功的我国第一台激光分子束外延设备和关键技术研究获1999年国家科...
关键词:
关键词:
激光分子束外延
原子尺度
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