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林智鑫

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：厦门大学更多>>
发文基金：福建省重大科技项目国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等效
  • 1篇等效电路
  • 1篇电纺
  • 1篇电纺丝
  • 1篇信号
  • 1篇信号采集
  • 1篇性能检测
  • 1篇阳极键合
  • 1篇三层结构
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米纤维
  • 1篇静电纺
  • 1篇静电纺丝
  • 1篇键合
  • 1篇纺丝
  • 1篇PZT
  • 1篇SI
  • 1篇硅

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇林智鑫
  • 1篇刘琦
  • 1篇曾毅波
  • 1篇王盛贵
  • 1篇郭航

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 2篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
基于静电纺丝的单根PZT纳米纤维制备与性能检测
传统压电陶瓷材料具有高的压电系数、高的机电耦合系数等特点，广泛用于能量转换、传感、驱动、频率控制等领域。相比于传统压电陶瓷材料，纳米尺度的材料有望获得更优异的压电性能，从而在更广阔的领域得到应用。　　本文主要研究基于简单...
林智鑫
关键词：静电纺丝等效电路信号采集性能检测
带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
2013年
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,研究表明:当采用键合温度为400℃,电压为1200 V,压力为450 Pa,可获得键合面积大于90%的带有Si3N4薄膜的三层阳极键合结构。
林智鑫王盛贵刘琦曾毅波郭航
关键词：阳极键合
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