田中克彦
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：日本立命馆大学更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家留学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 锆钛酸铅压电陶瓷PZT7的形状记忆效应研究
- 2009年
- 提出了一种新的方法可以使锆钛酸铅压电陶瓷PZT7具有形状记忆效应。用自制的Sawyer-Tower电路测试得到PZT7方形样品发生极化反转对应的电场强度大约为130kV/cm。当施加对称的饱和极化电压370V时,PZT7/Si(109/146μm)悬臂梁端部的变形-电场曲线呈现典型的"蝴蝶"形状。在外电场为0时,悬臂梁端部的变形为0。如果施加不对称的极化电压,悬臂梁端部的变形——电场曲线发生明显的变化。不同的反向极化电压使悬臂梁端部产生不同的变形,而且,电压和变形是一一对应的。因此,在外电场为零时,PZT7/Si悬臂梁可以具有多个不同的稳定位置,表现出明显的形状记忆效应。实验表明,对于长度为15.5mm的PZT7/Si悬臂梁而言,当施加的反向极化电压从120V回到0时,悬臂梁端部产生的变形最大,为68.5μm。
- 王佩红章文田中克彦戴旭涵赵小林
- 关键词：压电陶瓷形状记忆效应悬臂梁
- 基于共晶键合与对准切割的压电材料微细加工被引量：1
- 2016年
- 高硬度陶瓷材料的微加工一直是微细加工的难题。为了解决此难题,采用金膜为中间层的硅-锆钛酸铅(Si-PZT)共晶键合工艺和带进刀标记的PZT压电陶瓷的切割加工,制备出块状PZT微结构。实验结果表明,当金膜厚为1μm时,Si-PZT的共晶键合强度可达20 MPa以上。这个强度可为PZT材料的切割加工和应用提供有力保障。Si-PZT共晶键合与PZT的对准切割加工结合的方法可在微细领域加工PZT等超硬材料,为加工PZT微结构阵列提供一种新途径。
- 颜平李以贵黄远田中克彦杉山进
- 关键词：压电陶瓷微细加工共晶键合中间层
