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方磊

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:安徽大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金安徽省自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇LDD
  • 1篇MOSFET

机构

  • 1篇安徽大学

作者

  • 1篇陈军宁
  • 1篇代月花
  • 1篇方磊

传媒

  • 1篇微电子学

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
复合多晶硅栅LDD MOSFET制造工艺研究
2011年
通过工艺模拟软件TSUPREM,设计了一种复合多晶硅栅(DDPG-MOS FET)的制造工艺,并使用MEDICI软件对采用该工艺的器件的频率特性和瞬态特性进行分析。结果表明,DDPG-MOS制造工艺简单、完全与CMOS工艺兼容,其结构明显改善了传统MOSFET的多项性能,在射频领域具有很好的应用前景。
方磊代月花陈军宁
关键词:MOSFET
共1页<1>
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