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张改丽

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇晶体
  • 1篇径向
  • 1篇径向跳动
  • 1篇刚度

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇靳永吉
  • 1篇张改丽

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
主轴旋转精度对晶体切割精度影响的研究被引量：1
2006年
通过对半导体材料内圆切割机主轴旋转精度和刚度的分析,提出了提高主轴旋转精度的措施,使主轴具有极高的动静态刚性和优良的热平衡结构,减小主轴轴向跳动和径向跳动,减小刀片工作面与晶体加工面之间的相对振动,从而将切割材料表面的冲击力降到最小,避免晶体材料切割中的飞片、碎片和刀纹。
张改丽靳永吉
关键词：刚度径向跳动
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