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文献类型

  • 14篇中文专利

领域

  • 5篇自动化与计算...

主题

  • 6篇锚点
  • 6篇盖板
  • 4篇陀螺
  • 4篇陀螺仪
  • 4篇连接梁
  • 4篇加速度
  • 4篇加速度计
  • 4篇MEMS加速...
  • 4篇MEMS陀螺
  • 4篇MEMS陀螺...
  • 2篇弹性梁
  • 2篇岩爆
  • 2篇岩洞
  • 2篇岩体
  • 2篇预紧
  • 2篇折叠
  • 2篇切线
  • 2篇驱动电压
  • 2篇轴对称
  • 2篇围压

机构

  • 14篇中国科学院

作者

  • 14篇李航
  • 8篇于连忠
  • 4篇孙晨
  • 4篇梁宁
  • 4篇祁生文
  • 4篇郭松峰
  • 4篇郑博文
  • 4篇黄晓林
  • 4篇邹宇
  • 4篇胡宗达
  • 2篇杨燕
  • 2篇薛雷
  • 2篇陈亮
  • 2篇赵海军
  • 2篇张世殊
  • 2篇詹志发

年份

  • 1篇2022
  • 2篇2021
  • 3篇2020
  • 4篇2019
  • 4篇2017
14 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种MEMS微镜及MEMS光开关
本发明涉及一种MEMS微镜及MEMS光开关,该MEMS微镜包括:驱动镜面结构,驱动镜面结构位于衬底上,包括两个L型结构,两个L型结构的首尾相对排布,每个L型结构包括第二扭转梁、L型横板和第二梳齿状结构,L型横板的首端下方...
李航孙晨于连忠
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一种伞状结构吸能锚杆装置
本发明公开一种伞状结构吸能锚杆装置,包括杆体,所述杆体一端设置有预紧系统,所述杆体另一端设置有第一支撑系统,所述杆体上设置有若干个第二支撑系统,所述第二支撑系统处于所述预紧系统与所述第一支撑系统之间;所述第二支撑系统包括...
郭松峰祁生文张世殊马行东袁国庆王修华郑博文邹宇黄晓林梁宁李航刘宇博贺建先姚祥龙台大平罗光明
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一种MEMS加速度计及其制造工艺
本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种MEMS加速度计,上盖板、器件层以及下盖板;所述器件层包括:锚点、质量块、解耦梁以及加速度检测结构;所述解耦梁用于连接所述锚点以及所述质量块,所述加速度检测结构轴对称设置在所述质量块中,...
胡宗达李航于连忠杨燕
一种定量刻画岩体渐进破坏力学参数的方法
本发明公开了一种定量刻画岩体渐进破坏力学参数的方法,通过多级围压下的不等幅循环加载和卸载,每次循环表示对不同损伤岩体的加载过程,可以获得不同损伤岩体的变形模量和峰值强度,从而得到变形模量和强度随着渐进破坏的变化曲线,实现...
郭松峰祁生文唐凤娇郑博文詹志发赵星光赵延林梁宁黄晓林邹宇陈亮张海洋赵海军薛雷李航刘宇博
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一种MEMS陀螺仪及其制造工艺
本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种MEMS陀螺仪及其制造工艺,陀螺仪包括上盖板、测量体以及下盖板,所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间,所述测量体包括框架、设置在所述框架内的质量块组以及与所述框架相连接的扭转梁;所述质...
李航孙晨赵琦
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一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺
本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺,包括上盖板、器件层以及下盖板;所述器件层包括:锚点、质量块以及连接所述锚点和质量块的弹性梁;所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定;所述质量块的...
李航于连忠仇旭萍
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一种MEMS陀螺仪
本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种MEMS陀螺仪,包括上盖板、测量体以及下盖板,所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间,所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点;所述测量体包括相互对称设置的质量块组;每组质量...
李航于连忠胡宗达
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一种MEMS陀螺仪及其制造工艺
本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种MEMS陀螺仪及其制造工艺,陀螺仪包括上盖板、测量体以及下盖板,所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间,所述测量体包括框架、设置在所述框架内的质量块组以及与所述框架相连接的扭转梁;所述质...
李航孙晨赵琦
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一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺
本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺,包括上盖板、器件层以及下盖板;所述器件层包括:锚点、质量块以及连接所述锚点和质量块的弹性梁;所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定;所述质量块的...
李航于连忠仇旭萍
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一种MEMS微镜及MEMS光开关
本发明涉及一种MEMS微镜及MEMS光开关,该MEMS微镜包括:驱动镜面结构,驱动镜面结构位于衬底上,包括两个L型结构,两个L型结构的首尾相对排布,每个L型结构包括第二扭转梁、L型横板和第二梳齿状结构,L型横板的首端下方...
李航孙晨于连忠
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