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胡小东
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李倩
中国电子科技集团公司第十三研究...
吕苗
中国电子科技集团公司第十三研究...
赵瑞华
中国电子科技集团公司第十三研究...
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作者
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赵瑞华
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胡小东
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吕苗
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李倩
传媒
1篇
中国机械工程
年份
1篇
2005
共
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一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现
被引量:2
2005年
采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.
李倩
赵瑞华
吕苗
胡小东
关键词:
射频微电子机械系统
微机械加工
微封装
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