吕苗
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
- 发文基金：国防基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- SDB技术在MEMS加速度计中的应用
- 2005年
- 介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性.
- 吕树海罗蓉杨拥军吕苗
- 关键词：MEMS键合
- MEMS电容式加速度计可靠性研究被引量：1
- 2005年
- 探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.
- 吝海锋吕苗杨拥军师谦郑锋恩云飞
- 关键词：微电子机械系统电容式加速度计可靠性
- 一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
- 2005年
- 介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.
- 罗蓉徐爱东王玮吕苗
- 关键词：MEMS微通道
- 一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现被引量：2
- 2005年
- 采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.
- 李倩赵瑞华吕苗胡小东
- 关键词：射频微电子机械系统微机械加工微封装
