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谢飞

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇国内会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇电路
  • 1篇电容
  • 1篇一体化
  • 1篇微波电路
  • 1篇微电子
  • 1篇金属化
  • 1篇金属化工艺
  • 1篇孔金属化
  • 1篇孔金属化工艺
  • 1篇激光
  • 1篇激光加工
  • 1篇光刻
  • 1篇薄膜电路
  • 1篇薄膜电容

机构

  • 2篇中华人民共和...

作者

  • 2篇高能武
  • 2篇秦跃利
  • 2篇谢飞

传媒

  • 2篇第十二届全国...

年份

  • 2篇2001
共 3 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
集成薄膜电容一体化工艺研究
将薄膜电容、电阻、电感等无源元件同微带电路导体集成一体化是微波电路向毫米波频段发展的重要工艺手段.实验应用薄膜制造设备,选择适当的材料,把握关键工艺参数可以实现薄膜电容的集成.文章分析了薄膜电容针孔短路和膜层附着力等问题...
秦跃利高能武谢飞孔祥栋
关键词：微电子微波电路薄膜电容
文献传递
薄膜电路孔金属化工艺
孔金属化技术在混合集成电路中的应用十分广泛,它对减小电路串扰和插入损耗、增加电路散热和可靠性方面具有较大的价值.笔者从工艺的角度出发,应用薄膜制造技术对孔金属化的制作过程进行了分析和研究,并对其在微波产品中的应用进行了介...
谢飞高能武秦跃利
关键词：孔金属化激光加工光刻薄膜电路
文献传递
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