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阴极真空弧离子源的研制被引量：1: 1997年; 为发展金属离子束材料表面改性技术的工业应用，北师大低能核物理所研制成阴极真空弧离子源和离子注入装置．简要介绍该设备的结构、原理和性能．; 张孝吉张荟星周凤生周凤生吴先映李强; 关键词：真空弧放电离子源离子注入表面改性

MEVVA源离子注入金属表面优化应用被引量：6: 1997年; 针对几种钢部件的磨损、耗能问题，本课题组应用ＭＥＶＶＡ源离子注入技术，对Ｈ１３、Ｔ１０Ａ、ＨＳＳ、Ｃｒ１７等钢材料进行了离子注入表面改性研究，得出了提高钢耐磨性和改善其固体自润滑的一套有用的离子注入工艺．; 丁晓纪林文廉张荟星张孝吉周凤生周凤生李强李强桑吉梅; 关键词：离子注入钢材料表面改性

三MEVVA源离子注入实验机研制工作进展: 三MEVVA源离子注入实验机,可提供三种不同的高纯度的金属离子束,进行大束流密度下的同时注入,且能满足不同形状,规格的样品注入,可大幅度提高注入效率,改善注入设备的应用条件和扩大用途。为强流金属离子注入材料改性的研究及离...; 李强张胜基周凤生张孝吉张荟星韩主恩; 文献传递

强流金属离子源: 离子源都能产生金属离子束，但能够产生强流金属离子束的离子源并不多，特别要产生难熔金属离子束更是极其困难。为了发展材料表面改性技术和其它应用的需要，近年来研制成几种强度金属离子源，例如微波离子源，强流脉冲真空弧离子源等。同...; 张荟星张胜基李强; 关键词：强流离子源离子束金属离子

几种金属蒸汽真空弧离子源: 为离子注入金属材料表面改性的研究及应用的要求,近两年我们先后研制了几种不同型式的强流金属蒸汽真空弧离子源(即MEVVA源)。本文将扼要介绍这几种源及其电气系统。; 张胜基周凤生张孝吉张荟星李强韩主恩; 文献传递

磁过滤等离子体沉积和注入技术: 利用阴极真空弧放电技术,能够产生高密度的金属等离子体,经过90度的磁过滤器的金属等离子体,可以除去其中的大颗粒微粒,去掉大颗粒微粒的金属等离子体,是制备高质量的、致密的各种薄膜的一种新技术,利用该技术制备的薄膜具有非常广...; 张荟星李强

MEVVA离子束技术的发展及应用被引量：5: 2014年; 金属蒸汽真空弧放电能够产生高密度的金属等离子体.通过二或三电极引出系统,可以把金属等离子体中的金属离子引出,并加速成为载能的金属离子束,这是MEVVA离子源技术.将载能离子束用于离子注入,可以实现材料表面改性.经过MEVVA源离子注入处理的工具和零部件,改性效果显著,因此MEVVA离子源在离子注入材料表面改性技术中得到很好的应用.另一方面,利用弯曲磁场把等离子体导向到视线外的真空靶室中的同时,过滤掉真空弧产生的液滴(大颗粒),当工件加上适当的负偏压时,等离子体中的离子在工件表面沉积,可以得到高质量的、平整致密的薄膜,称为磁过滤等离子体沉积.是一种先进的薄膜制备的新技术.此外,将MEVVA离子注入与磁过滤等离子体沉积相结合的复合技术,可以首先用离子注入的方法改变基材表面的性能,再用磁过滤等离子体沉积的方法制备薄膜,可以极大的增强薄膜与基材的结合强度,得到性能极佳的薄膜.适用于基材与薄膜性能差别大,结合不易的情况(例如陶瓷、玻璃表面制备金属膜).本文简要介绍了MEVVA离子注入技术、磁过滤等离子体沉积技术和MEVVA复合技术的发展和应用状况.; 吴先映廖斌张旭李强彭建华张荟星张孝吉; 关键词：材料表面改性

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李强