李伟
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：重庆大学光电工程学院微系统研究中心更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>
- 掺杂铌和钴元素的PZT薄膜的残余应力测定
- 2016年
- 锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优异的压电性能,是制作微机电系统(MEMS)振动式能量收集器的理想材料。在溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的过程中产生的残余应力会对能量收集器有负面影响。该文利用X线衍射法对在退火温度分别为650℃、700℃、750℃、800℃下掺杂铌(Nb)和钴(Co)元素的PZT薄膜样品的残余应力进行了测定。实验结果表明,PZT薄膜样品中的残余应力表现为压应力,从650℃升高到750℃的过程中,随着退火温度的升高薄膜中的残余应力增大;直到750℃附近后,残余应力基本保持稳定。
- 陈泓霖李伟李伟武鹏飞杨凯
- 关键词：溶胶-凝胶法PZT薄膜残余应力退火温度
- 利用退火方法降低自旋阀薄膜的矫顽力(英文)
- 2009年
- 降低自旋阀薄膜矫顽力对于制作巨磁电阻(GMR)传感器非常重要。报告了利用退火方法降低自旋阀薄膜矫顽力的实验结果,介绍了数值模拟退火的条件和方法,借助计算机对退火实验的条件及其实验结果进行了模拟。结果表明,模拟后的结果可以用来进一步优化退火条件,并不再需要做大量退火实验。使用优化后的退火条件大大降低了自旋阀薄膜的矫顽力同时可保持自旋阀的磁电阻变化率(MR)在较高的水平。介绍了不同退火参数下的模拟实验,结果显示退火前样品的的矫顽力为358.2 A/ m、MR为9.24%,退火后其分别降到3.18 A/ m和8.54%,表明数值模拟方法可以较好地拟合自旋阀薄膜的退火条件及实验结果,并有助于优化退火条件。
- 李伟李伟刘华瑞任天令
- 关键词：退火数值模拟
