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冯燕

作品数：51 被引量：42H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家科技重大专项中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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