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敬刚

作品数：119 被引量：63H指数：4
供职机构：清华大学研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划深圳市基础研究计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程理学电子电信更多>>

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清华大学研究院
研究主题：抛光 存储介质 化学机械抛光 基底 抗菌
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